【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局下達(dá)的國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范制修訂計(jì)劃，全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)已完成《晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范》《晶圓級(jí)臺(tái)階高度凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范》《干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》《光學(xué)陀螺測(cè)角儀校準(zhǔn)規(guī)范》和《散目標(biāo)式視覺(jué)測(cè)量系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》5項(xiàng)計(jì)量技術(shù)規(guī)范的征求意見(jiàn)稿。為了使國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性，特向全國(guó)有關(guān)單位及專家公開(kāi)征求意見(jiàn)和建議。
 

　　《晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片指以硅晶圓片為基底，采用化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)以及原子層沉積(ALD)等方法生長(zhǎng)出微納米量級(jí)的單層二氧化硅薄膜，主要被測(cè)參數(shù)為薄膜厚度，晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片是集成電路產(chǎn)線質(zhì)控的必要器件。
 

　　JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》、JJF 1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　根據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范內(nèi)容包括：引言；范圍；引用文件；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄幾個(gè)部分。
 

　　本規(guī)范為首次制定。本規(guī)范適用于晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片的校準(zhǔn)，薄膜材料為硅上二氧化硅，校準(zhǔn)方法為激光橢偏儀，同時(shí)其他材料的晶圓級(jí)薄膜厚度標(biāo)準(zhǔn)片的校準(zhǔn)也可以參照本規(guī)范。
 

　　《晶圓級(jí)臺(tái)階高度/凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　晶圓級(jí)臺(tái)階高度/凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片是用來(lái)校準(zhǔn)微電子集成電路領(lǐng)域微納表面形貌測(cè)量?jī)x的標(biāo)準(zhǔn)器。其基底為硅晶片，通過(guò)對(duì)其表面氧化膜刻蝕得到臺(tái)階結(jié)構(gòu)，可適應(yīng)于接觸或非接觸式的各類表面形貌顯微測(cè)量裝置。特征結(jié)構(gòu)位于標(biāo)準(zhǔn)片的中心，可通過(guò)輔助圖形幫助快速定位。
 

　　本規(guī)范依據(jù)JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》、JJF 1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》編制。制定本規(guī)范的目的主要是解決我國(guó)微電子集成電路領(lǐng)域納米尺度晶圓標(biāo)準(zhǔn)片上臺(tái)階高度/凹槽深度校準(zhǔn)問(wèn)題。
 

　　根據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范內(nèi)容包括：引言；范圍；引用文件；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄幾個(gè)部分。
 

　　本規(guī)范為首次制定。本規(guī)范適用晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)片的校準(zhǔn)。包括晶圓級(jí)臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)片、晶圓級(jí)凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片的首次校準(zhǔn)、后續(xù)校準(zhǔn)和使用中檢查。
 

　　《干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x基于雙光束干涉的原理，經(jīng)樣品表面反射回的參考光與測(cè)量光形成干涉條紋，并經(jīng)由CCD采集，經(jīng)過(guò)算法重構(gòu)獲得表面形貌，在垂直方向上可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨力。
 

　　JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF1071-2010 《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》、JJF 1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》和JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列文件。
 

　　根據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范內(nèi)容包括：引言；范圍；引用文件；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄幾個(gè)部分。
 

　　本規(guī)范為首次制定。本規(guī)范適用于干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x的校準(zhǔn)，其它基于干涉原理的顯微鏡校準(zhǔn)也可參照本規(guī)范。
 

　　《光學(xué)陀螺測(cè)角儀校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　光學(xué)陀螺測(cè)角儀是基于薩格納克效應(yīng)(Sagnac Effect)發(fā)展出來(lái)的一種角度測(cè)量?jī)x器，陀螺本體，光路內(nèi)藏于殼內(nèi)，卡盤(pán)下表面與陀螺敏感面平行，通過(guò)卡盤(pán)安裝在載體工作面上；數(shù)據(jù)采集模塊，通過(guò)無(wú)線或有線通訊與陀螺本體互聯(lián)，可在外部觸發(fā)或內(nèi)部觸發(fā)下實(shí)時(shí)采集角度測(cè)量結(jié)果，測(cè)量結(jié)果可傳輸至上位機(jī)顯示或分析。
 

　　JJFXXX-XXX《光學(xué)陀螺測(cè)角儀校準(zhǔn)規(guī)范》是針對(duì)光學(xué)陀螺測(cè)角儀校準(zhǔn)的計(jì)量技術(shù)法規(guī)。光學(xué)陀螺測(cè)角儀是基于薩格納克效應(yīng)(Sagnac Effect)發(fā)展出來(lái)角度測(cè)量?jī)x器。其測(cè)量結(jié)果是在慣性空間內(nèi)的陀螺敏感面上，陀螺載體相對(duì)啟動(dòng)時(shí)刻空間指向的角度變化量。基于此測(cè)量原理，光學(xué)陀螺測(cè)角儀具有獨(dú)特的誤差作用機(jī)理，并相應(yīng)地表現(xiàn)出特有的計(jì)量性能，因此有必要為其制定專門(mén)的校準(zhǔn)規(guī)范，保證該類計(jì)量?jī)x器使用規(guī)范、量值傳遞有效、測(cè)量結(jié)果可靠。同時(shí)需要聲明的是：本規(guī)范制定內(nèi)容只涉及光學(xué)陀螺測(cè)角儀在特定溫度范圍內(nèi)角位置測(cè)量結(jié)果的校準(zhǔn)方法，未涉及光學(xué)陀螺測(cè)角儀在不同溫度條件下的校準(zhǔn)方法，也不涉及光學(xué)陀螺測(cè)角儀角速度測(cè)量結(jié)果的校準(zhǔn)方法。
 

　　本規(guī)范依據(jù)JJF 1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》和JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》進(jìn)行編寫(xiě)。
 

　　根據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范內(nèi)容包括：引言；范圍；引用文件；術(shù)語(yǔ)；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄幾個(gè)部分。
 

　　本校準(zhǔn)規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于環(huán)形激光陀螺測(cè)角儀和光纖陀螺測(cè)角儀的角位置相關(guān)計(jì)量性能的校準(zhǔn)。
 

　　《散目標(biāo)式視覺(jué)測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》
 

　　散目標(biāo)式視覺(jué)測(cè)量?jī)x是以散斑為目標(biāo)點(diǎn)，利用數(shù)字相機(jī)獲取散斑的數(shù)字圖像，經(jīng)數(shù)字圖像相關(guān)法運(yùn)算，獲得被測(cè)對(duì)象表面坐標(biāo)的測(cè)量?jī)x器，常用于零件表面變形/應(yīng)變的測(cè)量，也稱為全場(chǎng)變形/應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)，具有非接觸測(cè)量、全場(chǎng)測(cè)量、動(dòng)態(tài)測(cè)量等特性。
 

　　本規(guī)范依據(jù)JJF1001《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF1071《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》編制，測(cè)量不確定度的評(píng)定按照J(rèn)JF1059.1《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》進(jìn)行。
 

　　根據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》，本規(guī)范內(nèi)容包括：引言；范圍；引用文件；術(shù)語(yǔ)和定義；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄幾個(gè)部分。
 

　　本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于以散斑點(diǎn)為特征點(diǎn)、以數(shù)字圖像相關(guān)法為基本原理的視覺(jué)測(cè)量?jī)x的校準(zhǔn)。