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科學(xué)家研制出超高靈敏度光學(xué)超聲傳感器陣列

研發(fā)快訊 2023年06月30日 10:10:25來(lái)源:中國(guó)科學(xué)報(bào) 作者:朱漢斌 19313
摘要近日,中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院(微電子學(xué)院)教授李朝暉和副教授沈樂(lè)成率領(lǐng)的研究團(tuán)隊(duì)基于硫系微納加工平臺(tái),成功研制出了包含15個(gè)微腔的超高靈敏度光學(xué)超聲傳感器陣列。

  【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】近日,中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院(微電子學(xué)院)教授李朝暉和副教授沈樂(lè)成率領(lǐng)的研究團(tuán)隊(duì)基于硫系微納加工平臺(tái),成功研制出了包含15個(gè)微腔的超高靈敏度光學(xué)超聲傳感器陣列,并融合新型通信算法數(shù)字光頻梳技術(shù),開(kāi)展基于硫系片上陣列器件結(jié)構(gòu)的并行信號(hào)解調(diào)及光聲計(jì)算成像相關(guān)研究。相關(guān)研究論文發(fā)表于Nature Communications。
 
基于硫系微環(huán)傳感器陣列和數(shù)字光頻梳解調(diào)技術(shù)的光聲成像示意圖。研究團(tuán)隊(duì) 供圖
 
  近年來(lái),李朝暉/沈樂(lè)成團(tuán)隊(duì)一直致力于搭建面向硫系微納器件的制備平臺(tái),并依此開(kāi)展多物理場(chǎng)的傳感與成像應(yīng)用研究。
 
  在算法研究方面,他們提出了基于先進(jìn)光信息處理算法的數(shù)字光頻梳技術(shù),具有高效、大帶寬以及多維解調(diào)等優(yōu)勢(shì),并結(jié)合光學(xué)微腔實(shí)現(xiàn)雙共振模式下的超聲信號(hào)解調(diào);在技術(shù)創(chuàng)新方面研發(fā)了具有高調(diào)制效率的非懸浮硫系聲光調(diào)制器;在成像應(yīng)用與調(diào)控方面開(kāi)展了面向生物醫(yī)療的高通量全息成像和高速光場(chǎng)調(diào)控。這些研究成果表明先進(jìn)光信息處理技術(shù)與新型硫系材料器件的結(jié)合在生物成像、醫(yī)療傳感等方面具有巨大的潛力和前景。
 
  基于上述積累,該團(tuán)隊(duì)近日研制出包含15個(gè)微腔的超高靈敏度光學(xué)超聲傳感器陣列。該微環(huán)傳感器陣列具有高靈敏度、大帶寬和小尺寸等優(yōu)點(diǎn),其中單個(gè)微環(huán)傳感器具有175 MHz(-6 dB)的檢測(cè)帶寬和2.2?mPaHz?1/2的噪聲等效壓力,性能指標(biāo)領(lǐng)先。基于可調(diào)的數(shù)字光頻梳技術(shù),研究團(tuán)隊(duì)還研發(fā)了一套可與微環(huán)傳感器陣列相匹配的高性能并行信號(hào)檢測(cè)方案,對(duì)高速動(dòng)態(tài)粒子、靜態(tài)葉脈和活體斑馬魚等展示了光聲計(jì)算成像結(jié)果。
 
  上述研究工作得到科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金和南方海洋科學(xué)與工程廣東省實(shí)驗(yàn)室(珠海)的資助。

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