【儀表網 行業標準】近日，由全國城市工業品貿易中心聯合會歸口管理，武漢友美科自動化有限公司等相關單位共同起草的《等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備》編制完成并征求意見，時間截止到2023年5月12日。(反饋至biaozhun@ceun.org)
本文件規定了等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備的術語和定義、設備構成、要求、現場調試。本文件適用于等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備的生產與檢驗。
設備構成主要包含以下部分:PCVD沉積床;PCVD流量柜;自動控制與保護系統;PCVD熔縮床;石墨爐系統;預熱爐;真空系統。
各種鹵化物SiCl4、GeCl4的蒸氣和O2、C2F6、BCI3等氣體的混合物從氣體流量控制柜中輸出到石英玻璃反應管中，石英玻璃管另一端連接到真空泵，使石英玻璃管中的混合氣體維持在1kPa左右。石英玻璃管被一只金屬諧振腔環繞，頻率為2450MHz的微波能量輸入到諧振腔中，使反應管中的原料氣體電離形成等離子體并產生化學反應。諧振腔沿石英玻璃管快速運動，形成厚度小于1μm的薄膜，均勻地沉積在管壁內，當達到一定厚度時，將玻璃管進行熔縮，支撐光纖預制棒。
控制系統控制內容包括:
——主控系統:應能自動以曲線圖形式記錄各個流量值、平移、旋轉的速度、溫度等;
——反應物流量控制系統:應能通過測量載氣量和載氣與原料比率，控制物料蒸汽流量;
——反應物料料溫控制系統:應實時監測物料溫度，并實時進行溫度調整;
——微波腔體載臺平移控制系統:應能通過交流伺服驅動器實現沉積平移，每段斜率應能獨立調節，其相關技術指標應能在計算機屏幕上動態顯示;
——反應管控制系統:應能任意調節，角度精確到1°;
——壓力控制系統:混合腔的壓力及出氣端壓力應能通過調節氧氣的補給量自動控制;
——預熱爐爐溫控制及升降動作系統:應能對爐溫進行實時調節，并應實現預熱爐的升降、開合動作要求;
——冷卻水路監控系統:應能對冷卻水路進行實時監控。
PCVD熔縮設備及控制系統包括:
——主控制:應實時監控走速、旋轉速度、壓力、流量等;
——流量控制:應根據工藝需求對氫氧焰的火力大小進行控制;
——旋轉控制:應采用交流伺服系統保證旋轉運動勻速進行;
——平移控制:應根據工藝需求實現離合切換的快慢走速，并能在計算機上動態顯示;
——壓力控制系統:應同時控制進氣端壓力、出氣端壓力、火焰大小;
——熔縮設備總控制:應實現全過程的全自動控制。
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