【儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】近日，經(jīng)申報(bào)推薦、形式審查、專(zhuān)家評(píng)審、立項(xiàng)公示等審核選拔，上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院承擔(dān)的“基于長(zhǎng)光程FTIR法檢測(cè)14nm及以下先進(jìn)制程用電子特氣中痕量氮氧化物雜質(zhì)的檢測(cè)方法研究”獲批上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃”科學(xué)儀器領(lǐng)域立項(xiàng)。
 

　　集成電路制程用電子特氣是電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料，電子特氣的純度與晶體缺陷及器件成品率密切相關(guān)。“基于長(zhǎng)光程FTIR法檢測(cè)14nm及以下先進(jìn)制程用電子特氣中痕量氮氧化物雜質(zhì)的檢測(cè)方法研究”項(xiàng)目將聚焦集成電路行業(yè)制程用電子特氣的檢驗(yàn)檢測(cè)領(lǐng)域，針對(duì)14nm及以下先進(jìn)制程用電子特氣在集成電路制造中出現(xiàn)的質(zhì)控空白，使用長(zhǎng)光程傅里葉變換紅外光譜法，提出一套檢測(cè)電子特氣中關(guān)鍵氮氧化物雜質(zhì)的方法，可重點(diǎn)提升長(zhǎng)光程FTIR操作應(yīng)用的技術(shù)水平，形成儀器共享的操作流程和應(yīng)用技術(shù)，有效提高傅立葉變換紅外光譜儀的利用率，提升電子特氣超痕量雜質(zhì)的分析水平。
 

　　上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院(SIMT)是我國(guó)最早建立的計(jì)量檢定專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)之一，是上海地區(qū)由國(guó)家授權(quán)的法定計(jì)量檢定機(jī)構(gòu)，也是國(guó)家計(jì)量行政部門(mén)批準(zhǔn)設(shè)立的大區(qū)計(jì)量測(cè)試中心——“華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心”，國(guó)家科技行政部門(mén)命名的國(guó)家級(jí)測(cè)試中心——“中國(guó)上海測(cè)試中心”，迄今已走過(guò)90年歷程。
 

　　SIMT地處國(guó)內(nèi)最重要的經(jīng)濟(jì)、金融、貿(mào)易、航運(yùn)中心的上海市，隨著上海市的工業(yè)化和科技的不斷發(fā)展以及城市綜合能力水平的提高，對(duì)計(jì)量和檢測(cè)技術(shù)提出許多課題和要求。在國(guó)家和地方政府的大力支持下，SIMT的裝備實(shí)力逐步增強(qiáng)，技術(shù)能力也不斷得到提升，開(kāi)展了大量技術(shù)規(guī)范的制修訂，完成了諸多科學(xué)研究課題，并參與了許多重大工程和重大項(xiàng)目建設(shè)，每年檢定、校準(zhǔn)、檢測(cè)的樣品超過(guò)百萬(wàn)臺(tái)(件)，在經(jīng)濟(jì)建設(shè)與社會(huì)發(fā)展中發(fā)揮了強(qiáng)有力的技術(shù)保障和支撐作用。