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英福康AI革命:重新定義半導體制造的精度與速度

2025年05月22日 14:04:43 來源:深圳市科銳詩汀科技有限公司

英福康AI革命:重新定義半導體制造的精度與速度

英福康AI革命:重新定義半導體制造的精度與速度


想象一下,當您置身半導體工廠的中心——一個哪怕一微秒變化都能決定芯片成敗的“殘酷戰場”。在機器的嗡鳴與晶圓的傳送聲中,傳統的過程控制系統卻總是“反應遲鈍”,成為產能提升的瓶頸,甚至讓工廠承受著良率降低、資金損失的巨大風險。


當制程向更小節點邁進,半導體高產量的實現需要精度與速度的雙重突破。英福康FabGuard 智能工藝監控系統,正以 AI 與邊緣計算的突破性組合,重新定義半導體制造的效率邊界。









傳統過程控制模式的瓶頸:當“實時響應”成為奢望

在當前行業趨勢下,半導體制造工程師們面臨的挑戰是:如何在實時或逐次運行(RbR)中捕捉細微工藝變化并完成系統調整。然而,部署于中央服務器的傳統人工智能解決方案存在致命延遲 —— 當先進傳感器采集的關鍵數據經傳輸、分析再反饋至設備時,最佳行動窗口已關閉。這直接導致產線故障頻發、停機時間延長、產量波動加劇,成為制約產能提升的核心痛點。




英福康的革新路徑:邊緣AI重構工藝控制邏輯

英福康AI革命:重新定義半導體制造的精度與速度

作為半導體行業的過程監控和故障檢測系統,英福康FabGuard 通過三大核心突破助力半導體產能躍升:


1. 邊緣計算架構:讓 AI 貼近 “數據源頭”

基于 Libtorch 庫與 PyTorch 框架,FabGuard將深度學習模型直接部署于數據采集端(如設備邊緣節點),實現微秒級實時分析,消除中央服務器的傳輸延遲。


這一創新在低開放面積蝕刻等場景中xiaoguoxianzhu:傳統單變量信號分析難以捕捉復雜多變量數據關聯,而 FabGuard 的深度學習模型可現場解析多維信號,精準預測工藝端點并自動完成參數調整,顯著提升檢測靈敏度,保障制造流程的穩定性與可靠性。


2. 深度學習模型驅動的異常防控

自動檢測流程轉變:通過 SmartFDC® 技術與無監督機器學習算法,系統可基于歷史數據自動檢測流程轉變。


前置攔截、異常檢測:依靠深度學習異常檢測模型,FabGuard能夠實時、持續地監控來自石英晶體微天平(QCM)等處的傳感器的數據,并自動識別和標記異常,避免問題流入下游工序。


3. 全鏈路集成能力:打通設備與數據壁壘

FabGuard 具備跨平臺兼容性,可無縫連接傳感器、流程設備、物聯網(IIoT)系統,支持本地部署與云端協同。工程師可通過統一界面實時監控全局設備性能,深入了解工具性能和流程效率,從而做出更明智的決策。

英福康AI革命:重新定義半導體制造的精度與速度




實際效能提升:更智能、更快速、更精確

FabGuard 的 AI 應用正為不少工廠帶來實質性變革:


實時處理: 即時數據分析,消除了延遲,使決策更快、更有效。


產量提升: 通過精確的端點檢測和前瞻性的異常識別,最大限度地減少了生產故障,提高了總體產量。


運行效率: 與現有系統無縫集成,并在邊緣節點上自動分配模型,確保了所有工具性能一致。


節約成本: 浪費減少與周期時間的縮短,直接轉化為了可觀的投資回報。





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