647C MKS多通道氣體流量和壓力控制器
647C型是一個*提供多通道控制壓力和流量的控制器。zui高可用于八通道的氣體質量流量和一個壓力管道，允許按壓強比率獨立控制氣體流量。一個壓力通道和四通道同時在LCD上顯示，并從面板直接控制或遠程使用模擬或RS-232接口控制。
647C MKS多通道氣體流量和壓力控制器選型
例如：647cxycr
通道（X） | 代碼 |
四 | 4 |
八 | 8 |
接口（Y） | |
RS-232C | R |
控制選項（C） | |
沒有 | 0 |
PID控制壓力 | 1 |
繼電器的選擇（R） | |
沒有 | N |
繼電器：4通道 | T |
繼電器：8路通 | T |
綜合布線的647C：
CB147-1-10連接647，358，558，1150，1152，1359，1559，179（15針）
CB260-3-10也需要連接647 1150，1152
CB147-25-3連接647至250（PCS）
CB147-22-3連接647至647（菊花鏈）
CB147-30-10連接647 121，221
CB147-12-10連接647至179（9針）
CB147-7-10連接647至179（20針卡邊緣）
CB647-19-10連接647至9針700 / 800系列
CB647-4-3連接647至270
CB647-1-10連接647 626，627
CB1480-1-10連接1480
647型是一個*提供多通道控制壓力和流量的控制器。zui高可用于八通道的氣體質量流量和一個壓力管道，允許按壓強比率獨立控制氣體流量。一個壓力通道和四通道同時在LCD上顯示，并從面板直接控制或遠程使用模擬或RS-232接口控制。
例如：選型647cxycr
通道（X） | 代碼 |
四 | 4 |
八 | 8 |
接口（Y） | |
RS-232C | R |
控制選項（C） | |
沒有 | 0 |
PID控制壓力 | 1 |
繼電器的選擇（R） | |
沒有 | N |
繼電器：4通道 | T |
繼電器：8路通 | T |
綜合布線的647C：
CB147-1-10連接647，358，558，1150，1152，1359，1559，179（15針）
CB260-3-10也需要連接647 1150，1152
CB147-25-3連接647至250（PCS）
CB147-22-3連接647至647（菊花鏈）
CB147-30-10連接647 121，221
CB147-12-10連接647至179（9針）
CB147-7-10連接647至179（20針卡邊緣）
CB647-19-10連接647至9針700 / 800系列
CB647-4-3連接647至270
CB647-1-10連接647 626，627
CB1480-1-10連接1480
