產品介紹：

• 反應艙：
      材料：鋁
      有效尺寸：直徑230 x 深度250mm
      容積：10.4升
      艙門：裝有可視窗口
      托盤：訂制

• 真空度測量：
      皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關）
• 真空泵：
     二級旋片式真空泵；3m³ 每小時。
• 頻射發生器：
      0~600w可調，2.45GHZ發生器
• 控制系統：
      觸摸屏操作，PLC控制系統
      PLC可實現下列功能：
           1、自動控制反應過程；
  ?       2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程；
  ?       3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；
  ?       4、監測所有的運行指標，保證在設定范圍之內；
  ?       5、 設定操作、維護密碼。
• 電源：
       220V AC、50Hz、16A.
• 反應氣體：
      一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據用戶需要，可擴展
• 氣體輸入：
      直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar. 
• 安全性能：
      急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認證。

 用途：

小型物件的活化、清洗、蝕刻等。

可選件：

• 頻射發生器：100KHZ, 13.56MHZ ，可訂制
• 可加裝15m³每小時的真空泵
• 根據需要，可訂制多個氣體輸入管道
• 根據客戶工藝要求制作的軟件程序
• 根據客戶要求制作的托盤。
• 石英反應艙 
• N₂ Purge.