表面顆粒物檢測儀
產(chǎn)品介紹
P-III 的表面粒子檢測器系列通過以下技術(shù)實現(xiàn)電子半導體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制:
核心技術(shù)原理
界面顆粒再懸浮技術(shù):采用界面技術(shù),通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵
表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測。
高精度光學檢測:基于激光光學傳感器和光散射原理,實時捕獲懸浮粒子的散
射光信號,實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。
關(guān)鍵性能指標
分辨率達 0.1 微米,支持納米級顆粒檢測;
配備靜態(tài)采樣模式,提升測量精度和穩(wěn)定性;符合 ISO-14644-9 表面粒子控制標準,
滿足半導體制造中對潔凈度的嚴苛要求
行業(yè)應用優(yōu)勢
減少 50%以上的自凈時間及顆粒數(shù),縮短 PM 周期,提升制造效率;
通過實時監(jiān)測表面污染,降低因顆粒導致的良率損失和可靠性風險;
適用于晶圓、光學元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
系統(tǒng)集成設(shè)計
支持 USB 數(shù)據(jù)導出和軟件升級,便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接;
采用雙電池熱插拔設(shè)計,適應連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。
該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù),為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù),從而優(yōu)化生
產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器:第七代雙激光窄光檢測器,壽命>200000 次
智能化設(shè)計與操作體驗
7 英寸高分辨率觸控屏:支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作,簡化流程。
雙電池熱插拔系統(tǒng):支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè),電池更換無需停機。
USB 數(shù)據(jù)接口與軟件升級:便捷導出檢測報告,并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。
表面顆粒物檢測儀 提升制造效率
減少 50%自凈時間:通過量化表面污染數(shù)據(jù),縮短設(shè)備維護周期(PM 周期),提升產(chǎn)線吞吐量。
延長 MTBC(平均周期):結(jié)合顆??刂撇呗?,關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升 4 倍以上。