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有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)

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深圳市中圖儀器科技有限公司是*和軟件企業(yè),致力于精密計(jì)量、檢測儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支以清華大學(xué)、西安交大等高校的碩士畢業(yè)生為骨干的技術(shù)隊(duì)伍,在專業(yè)技術(shù)上擁有近二十年的技術(shù)積累和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),潛心進(jìn)行計(jì)量檢測技術(shù)的創(chuàng)新研究。

中圖儀器擁有約3000平方米的現(xiàn)代化科研辦公樓層,配備了*的科研設(shè)施和精密加工設(shè)備,建立了幾何量恒溫實(shí)驗(yàn)室、傳感器老化實(shí)驗(yàn)室和傳感器溫控實(shí)驗(yàn)室,按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)管理,為客戶提供質(zhì)量*的產(chǎn)品。中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及國內(nèi)三十多個(gè)省、市、自治區(qū),并與國內(nèi)許多企業(yè)、科研院所保持著*密切的合作關(guān)系。10多年來,在精心研究長度、熱工、水流量等專業(yè)計(jì)量檢測技術(shù)的基礎(chǔ)上,研發(fā)*的CCD圖像識(shí)別技術(shù),*設(shè)計(jì)制造SJ2000/3000系列指示表自動(dòng)檢定儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2200系列小角度檢定儀、SJ2300系列氣浮式垂直度檢定儀、SJ2400系列影像式線紋測量儀、SJ200系列高度計(jì)、ZT5000/6000系列壓力自動(dòng)校驗(yàn)儀、ZT8000系列溫度自動(dòng)檢定系統(tǒng)、SW2000系列攝像式全自動(dòng)水表檢定裝置、ZT201系列全自動(dòng)在線檢測儀等*儀器設(shè)備,促進(jìn)了我國計(jì)量檢測裝備的技術(shù)進(jìn)步。目前,中圖儀器擁有數(shù)十種自主開發(fā)的新技術(shù)產(chǎn)品,并具有多項(xiàng)技術(shù),廣泛應(yīng)用于政府計(jì)量質(zhì)量檢測機(jī)構(gòu)、國防*、汽車、航空航天、冶金、機(jī)械、電力、石化等行業(yè)的實(shí)驗(yàn)室。中圖儀器的大多數(shù)產(chǎn)品達(dá)到水平,部分產(chǎn)品處于前列的位置,打破了檢定儀器一直以來被西方發(fā)達(dá)國家壟斷的局面。中圖儀器參與了一些制定產(chǎn)品檢定國家標(biāo)準(zhǔn)的工作,為國家做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

中圖儀器的使命,就是專注于精密計(jì)量儀器和自動(dòng)檢測設(shè)備的創(chuàng)新發(fā)展,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體,用現(xiàn)代化的技術(shù)手段大幅提高檢測效率,力圖中國儀器的技術(shù)進(jìn)步。

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有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)
有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品簡介

  有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)是一款集成高精度平面尺寸檢測和亞納米級(jí)表面3D形貌測量的光學(xué)檢測儀器,同時(shí)滿足大范圍多區(qū)域的高精度全自動(dòng)檢測,優(yōu)異的重復(fù)性及效率有效減少人為誤差及人員投入。
  它采用高分辨率光學(xué)鏡頭,結(jié)合高精度圖像分析算法,并融入一鍵閃測原理,CNC模式下,只需按下啟動(dòng)鍵,儀器即可根據(jù)工件的形狀自動(dòng)定位測量對象、匹配模板、測量評價(jià)、報(bào)表生成,真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測量。
  同時(shí)具備白光干涉掃描系統(tǒng),3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,能夠?qū)π酒琙向?qū)崿F(xiàn)微納尺度的3D掃描和重建,精確測量表面的高度輪廓尺寸;全自動(dòng)上下料平臺(tái),配置掃描槍,高效實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線全自動(dòng)化生產(chǎn)。
全自動(dòng)晶圓檢測機(jī)可廣泛應(yīng)用于芯片、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。
 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

自動(dòng)上下料&生產(chǎn):

1、配置自動(dòng)上下料平臺(tái);
2、配置高精度上下料方式,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線高自動(dòng)化程度;
 

針對產(chǎn)線開發(fā),方便管理:

1、可設(shè)定三種權(quán)限模式:Operater、Engineer、Administrator便于管理操作;
2、可與客戶生產(chǎn)數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)連接,便于數(shù)據(jù)的管理分析;
3、測量現(xiàn)場立即評價(jià)測量尺寸偏差,一鍵生成統(tǒng)計(jì)分析、檢測結(jié)果報(bào)告等;
 

功能豐富,自動(dòng)報(bào)表:

1、軟件分為兩大部分,其中平面輪廓尺寸的影像測量方式分為測量設(shè)定、單件測量、CNC測量、自動(dòng)測量、統(tǒng)計(jì)分析五大功能模塊,而3D輪廓尺寸的白光干涉成像方式分為測量設(shè)定、數(shù)據(jù)處理和分析工具等三個(gè)步驟,其中可預(yù)配置數(shù)據(jù)處理和分析工具,實(shí)現(xiàn)一鍵測量與分析。
2、平面輪廓尺寸影像測量模塊提供多達(dá)80種提取分析工具、包括【特征提取】工具(如最值點(diǎn)、中心線圓弧、峰值圓等),【輔助工具】(如任意點(diǎn)線圓、擬合直線、擬合圓、切線、內(nèi)切圓等),【智能標(biāo)注】工具,【形位公差】工具,特殊【應(yīng)用工具】(如倒角、圓角、節(jié)距距離、節(jié)距角度、圓徑十字、槽孔、螺紋、彈簧、密封圈等);而3D測量模塊提供粗糙度、臺(tái)階高、距離測量、孔洞體積等2D/3D分析工具。
3、自動(dòng)輸出SPC分析報(bào)告,可輸出統(tǒng)計(jì)值(如CA、PPK、CPK、PP等)及控制圖(如均值與極差圖、均值與標(biāo)準(zhǔn)差圖、中位數(shù)與極差圖、單值與移動(dòng)極差圖)。
 

三、應(yīng)用場景

有圖晶圓套刻偏移量測量

在晶圓制造時(shí),黃光站將Wafer光刻、曝光顯影后會(huì)進(jìn)行套刻的偏移量測量,將測量的數(shù)據(jù)反向?qū)胙a(bǔ)償至光刻機(jī)內(nèi),優(yōu)化晶圓光刻工藝穩(wěn)定性以達(dá)到客戶對產(chǎn)品的需求。
 

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸測量

在Wafer制造時(shí),多道工序會(huì)對Die的關(guān)鍵外形尺寸進(jìn)行把控,SuperView軟件自動(dòng)捕捉Die特征邊緣,同時(shí)進(jìn)行高效精準(zhǔn)測量,幫助客戶在更短的時(shí)間內(nèi),達(dá)到更高的良率,維持良率的穩(wěn)定性。
 

有圖晶圓3D尺寸測量

Wafer制造時(shí),前道黃光工序后需要測量芯粒下底槽間的寬度來確定各芯粒間的偏移量是否合格,自動(dòng)選取多條拋線得到穩(wěn)定平均值,從而調(diào)整曝光機(jī)參數(shù)以達(dá)到工藝要求。
 

有圖晶圓輪廓分析及蝕刻深度測量

重建晶圓的局部3D圖像,根據(jù)提供的線寬尺寸和刻蝕深度,提取刻線的剖面輪廓進(jìn)行分析,可判斷線槽輪廓的完整性和進(jìn)行底部缺陷的觀察。
 

有圖晶圓切割后槽深槽寬測量

在劃片工藝的鐳射工序后,進(jìn)行鐳射U型槽的槽深度和寬度檢測,可自定義剖面寬度取剖面輪廓的均值曲線,求取槽深寬的平均值,根據(jù)測出的槽深和槽寬,調(diào)整鐳射機(jī)的參數(shù)以便符合工藝要求

 

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