氣體質量流量計，是用于精確測量氣體流量的專業儀表，在眾多領域發揮著作用。其工作原理主要基于熱式測量原理。以常見的熱式氣體質量流量計為例，典型傳感元件包含兩個熱電阻其中一個作為速度傳感器，被加熱到高于環境溫度的恒定溫度；另一個是用于感應介質溫度的溫度傳感器。當氣體流經速度傳感器時，會帶走部分熱量，致使傳感器溫度降低。為維持溫度恒定，需增加通過傳感器的工作電流，而增加的電流大小與氣體流速成正比，進而通過測量熱傳遞量計算出氣體的質量流量。這種方式無需溫壓補償，就能直接得出氣體的質量流量。
可實現精準測量，精度通常能達到 ±1% 的讀數甚至更高，為實驗與生產過程提供可靠數據支持。比如在化學氣相沉積實驗中，對反應氣體流量的精準控制，確保了薄膜生長的均勻性與成分精確性，誤差可控制在極小范圍內。
流量調節范圍廣，從極低流量的 mL/min 級別，到較大流量的 L/min 區間，均能實現穩定且精準的流量調控，滿足不同場景下對氣體流量的多樣需求。
測量數據基本不受溫度、壓力變化的干擾，在復雜多變的實驗條件或工業環境中，依然能夠穩定輸出準確的氣體質量流量數據 。
在氣體流經流量計時，產生的壓力損失極小，減少了對整個氣體傳輸系統壓力的影響，保證系統穩定運行。能夠對多種氣體，如高爐煤氣、焦爐煤氣、空氣、氮氣、乙炔、氫氣、天然氣、二氧化碳、氧氣等進行流量測量，應用場景廣泛。
在化學與材料科學領域，用于氣相沉積實驗控制反應氣體流量，保障薄膜質量；在生物與醫學研究中，精準供給細胞培養所需氣體，維持細胞生長環境；在環境科學與能源研究方面，采集空氣樣品時控制流量，助力大氣污染物監測等 。
石油和天然氣行業中，用于測量原油、精煉油、油氣和液化氣等的質量流量，保障產品質量與安全生產；化工行業內，在加熱、冷卻、混合、反應等化工過程里，測量各種氣體、液體、蒸汽的質量流量，確保化工過程穩定 ；食品和飲料行業，在食品生產、加工、包裝過程中，對食品原料及包裝氣體進行流量控制；制藥行業，用于測量藥液質量流量，實現制藥過程自動化控制，保障藥品質量 。
