臺式掃描電子顯微鏡（Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM）,又俗稱“桌上型掃描電鏡”或“Mini SEM”，相較于傳統(tǒng)大型SEM（落地式），臺式SEM具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢，而且它的放大倍數(shù)可高達(dá)100,000倍以上。此類新型儀器的出現(xiàn)光學(xué)顯微鏡與落地式SEM之間的空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
組成：
真空系統(tǒng)：一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動
電子槍：一般為CeB6（ 六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時，且亮度更高。目前尚沒有采用 場發(fā)射（Field Emission）的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器： 背散射電子或二次電子探測器，可選配EDS
特點：
放大倍數(shù)高（相對光學(xué)顯微鏡）
成像速度快
大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
應(yīng)用：
臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求，其應(yīng)用領(lǐng)域極其廣泛，包括：粉末、金相、制藥、造紙、半導(dǎo)體、微電子、生命科學(xué) ……
