型號 | VML662三次元 | VML962三次元 | VML1292三次元 | VML15122三次元 | |
量程(mm) | 620×620×200 | 920×620×200 | 1220×920×200 | 1520×1220×200 | |
外部尺寸(mm) | 1320×1020×1680 | 1620×1020×1680 | 1920×1320×1680 | 2220×1620×1680 | |
重量(kg) | 700 | 900 | 1200 | 1500 | |
承重(kg) | 80 | 80 | 80 | 80 | |
精度 | XY軸 | E2=(3.0+L/200)µm | |||
Z軸 | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
重復精度 | XY軸 | <3µm | |||
Z軸 | <5µm | ||||
速度 | XY軸 | 300mm/S | |||
Z軸 | 100mm/S | ||||
光柵尺分辨率 | 1.0µm, 0.5µm, 0.1µm(可選) | ||||
CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級亮度可調 | |||
表面光 | 6環8區LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調 | ||||
同軸光 | LED冷光源,256級亮度可調 | ||||
光學系統 | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
軟件 | Vispec測量軟件 | ||||
運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環境 | 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
振動<0.002g,低于15Hz | |||||
電源 | 90~264VAC,47-63Hz,10Amp |