001，002和003A 型質量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮氣量程中。當它與質量流量計結合使用時，就可構成一個閉合回路控制系統 , 該系統允許單獨組件配置（流量計和控制閥門）。
技術參數
流量范圍：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環境和操作溫度 ：-10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作壓力：1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請參考表一
安裝方向：對位置不敏感
額定工作電壓：4-11VDC （ 24VDC ）
額定工作電流：150mADC （ 275 mADC ）
閥線圈電阻：80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
結構材質
主體：316 不銹鋼
孔：316 不銹鋼
閥組件（接液）：001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型：302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型：302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材質：001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型：Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型：Buna N ， Viton
* 注：上述流量范圍反映的是氮氣標定下產生的最小流量和流量，可采用其它介質的流量范圍，當操作參數有疑問時為了保證選型，請咨詢廠家。
