平行平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
●平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
●平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。
平行平晶共分四個系列，每個系列四塊。
| 系列 | 兩工作面的平行度 | 工作面的平面度 | 2/3d范圍內的平面度 |
| Ⅰ Ⅱ | 0.6 | 0.1 | 0.05 |
| Ⅲ | 0.8 | 0.1 | 0.05 |
| Ⅳ | 1.0 | 0.1 | 0.05 |
