巴克豪森噪音渦流顯微鏡 BEMI

形勢背景

   材料特性及其局部分布的認知對于金屬材料或分層系統的開發和優化非常重要。多參數微磁測試方法BEMI的應用提供了表征材料特性或具有高空間分辨率的多層系統分析的能力。

BEMI (巴克豪森噪音和渦流顯微鏡)的組件

   ■ 基于3MA技術的檢測主機（3MA：微磁多參數微結構和應力分析）：一種功能強大的測試設備，用于材料和分層系統的微磁特性表征；
   ■ 具有高空間分辨率的特殊探頭：具有約20μm空間分辨率的電磁特性；
   ■ 掃描機：在預定的X和Y位置步進掃描樣品表面；
   ■ 計算機：控制掃描儀，數據采集，結果可視化和評估；

特殊技術與原理

   基于3MA技術的檢測主體設備，結合了四種微磁方法：切向磁場強度的諧波分析，巴克豪森噪聲信號分析，增量磁導率分析，多頻渦流阻抗分析。
   這些方法在數個測試頻率上的綜合應用，提供了四十多種微磁特性，這些特性與材料結構和分層系統的特性相關。多參數方法中微磁特性的組合使得能夠分離交叉重疊的影響，例如應力和涂鍍層厚度。這些微磁特性分布的圖像提供了有關材料均勻性的主要信息。此外，多個樣品特性的比較允許對材料或分層的特性，進行差異定性評估。

   歸根結底，在使用具有明確特征的樣品進行一次校準之后，BEMI可以定量確定材料和分層的性能，并將其分布顯示為圖像，而且可以同時確定幾個目標值。

應用領域

   ? 對包含至少一種金屬成分的所有材料或分層系統進行具有高空間分辨率的材料表征和優化。
   ? 檢查微觀結構或分層的均勻性。
   ? 應力分布成像。
   ? 確定任何基材上的金屬和/或鐵磁的頂層厚度。
   ? 確定鐵磁基材上非鐵磁頂層的厚度。
   ? 多層的表征。

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經常測試的目標值：

?殘余應力；
?硬度，硬度深度（近表面，例如滲氮層深度NHD）;
?分層厚度和多層特性；
?微觀結構。

系統特點：

· 探頭和掃描儀的橫向分辨率：大約20μm，取決于材料。
· 掃描范圍10×10 mm²（按需可配更大的區域）。
· 每個測量位置的測量時間≤1 s。
· 取決于材料，分層厚度的測量范圍為5 nm至100μm。

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