愛德華螺桿真空泵IH80/160維修，半導體行業(yè)專用愛德華螺桿真空泵IH80/160，愛德華螺桿真空泵IH80/160，四川綿陽愛德華螺桿真空泵IH80/160維修，愛德華螺桿真空泵IH80/160維修需要更換哪些配件，愛德華螺桿真空泵IH80/160多長時間保養(yǎng)一次。歡迎： 楊生
東莞市品雅真空設備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵設備維修15年，一直秉承著專業(yè)的維修技術，高效的服務態(tài)度來對待可以，常年服務去漢能，中車集團，富士康集團，信利集團等，有著專業(yè)的維修設備和技術人員，可以全國范圍內(nèi)上門維修保養(yǎng)，提供各種進口真空泵配件及維修包，真空泵油脂等。
愛德華螺桿真空泵IX80/160產(chǎn)品功能與優(yōu)勢：
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
行業(yè)應用：
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
技術參數(shù)
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 極限功率輸入 | 2.7 kW |
| 電機額定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
IH160技術參數(shù)：
| 峰值速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm | |
| 2750 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 244 kg |
| 極限功率輸入 | 3.1 kW |
| 電機額定功率 | 5.0 kW |
| 油容量 | 0.85 l |
愛德華螺桿真空泵IH80/160訂貨號：
iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A
愛德華真空泵產(chǎn)品多樣化，每個型號有很多的種類，歡迎有需要選擇和購買的客戶品雅真空小楊：，用嚴謹?shù)闹R，為客戶提供的方案。
