性能特點(diǎn)
抽速范圍廣,從1 L/s到16.6 L/s
極限真空度達(dá)到1 Pa
適用電源,110/220/380/460V、50/60Hz
全無油 ,不返油、不噴油
能在大氣壓和真空之間頻繁啟動與關(guān)閉
低振動、低噪音、低能耗體積小、重量輕
主要用途
真空干燥
真空成型
真空鍍膜(PVD/CVD/LPD等)
LED/LCD
真空與封裝
電子束焊接/光焊接真空爐
單晶爐/烘共箱手套箱
真空脫氣
預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
He質(zhì)譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
空間環(huán)境模擬同步輻射光束線
分子泵前級冷凝泵再生