四探針直流低電阻測試儀  （產品型號：FP-001）

Four-Point Probe Resistance Tester (DC)

        本測試儀由珠海凱為光電科技有限公司配套設計，測試儀采用國內高精度的直流低電阻測試儀及四探針頭生產廠商的四探針技術。適合實驗室用于ITO導電玻璃、FTO導電玻璃、AZO導電玻璃、柔性ITO導電膜、片狀金屬等膜層均勻的剛性導體膜層和半導體膜層的方塊電阻、電阻率的測試使用 (注：本產品使用小探針頭，不適合導電高分子膜層、表面粗糙的硅片的測試，需要用來測試硅片、納米銀膜、石墨烯膜、碳漿膜等材料的阻值的，訂購前請咨詢我們)。

        目前，該產品已經被清華大學、華南理工大學、中國科學技術大學、電子科技大學、華中師范大學、武漢大學、西安交通大學、天津大學、東北大學、暨南大學等學校的相關實驗室使用，產品遠銷澳大利亞、馬來西亞、印度、伊朗、日本等國家和地區。

測試原理

    1) 方塊電阻的定義及方阻與電阻率、電導率的關系 >>>>>（點擊查看）

    2) 方塊電阻的測試原理 >>>>>（點擊查看）

產品特點：

    1) 電阻測試儀5個不同量程供選擇，不同量程不同測試電流，保證測試數據的準確性；

    2) 電阻測試儀三檔自動分選，適用同時快速檢測多個樣品的合格性能；

    3) 四探針頭使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確；

    4) 四探針頭控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6μm，保證探針的小游移率；

    5) 四探針頭采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準確的壓力；

    6) 四探針頭量具精度的硬質合金探針，在寶石導孔內穩定運動，持久耐磨。

產品參數：

    1) 儀器測量范圍：10 μΩ – 2.00 kΩ（四種不同量程測量范圍及分辨率、測試電流參見下表）

    2) 分選檔數：3檔分選

    3) 低電阻測試儀測試偏差：參見附表四測試結果(見產品操作手冊)

    4) 四探針頭類型：直線四探針

    5) 四探針頭探針材質：碳化鎢

    6) 四探針頭探針間距：1mm

    7) 四探針頭探針間距偏差：<2 %

    8) 四探針頭探針合力：4±1N

    9）四探針頭探針壓痕直徑：200-400 μm

    10）四探針頭探針機械游移率：<0.3 %

    11）四探針頭探針與導孔間隙：0.006mm

    12）四探針頭500V絕緣電阻：>1000 mΩ

    13) 探針間距修正系數Fsp ：參見附表三標準樣片檢定探針頭測試結果(見產品操作手冊)

使用條件

    1) 電源：220V AC，50Hz

    2) 使用環境溫度：20-60 ℃

    3) 使用環境濕度：≤75RH

應用范圍

    測量參數：方塊電阻、電阻率

    測量樣品：均勻薄膜、均勻薄片

    樣品大小：直徑>1cm