無(wú)需手動(dòng)脈沖調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)高脈沖保真度
通過(guò) 2601B-PULSE 控制回路系統(tǒng),高達(dá) 3μH 的負(fù)載變化無(wú)需手動(dòng)調(diào)整,從而確保在任何電流水平( 10 安培)下輸出 10 μs 至 500 μs 脈沖時(shí),脈沖均不會(huì)出現(xiàn)過(guò)沖和振蕩。脈沖上升時(shí)間 < 1.7="" μs,確保您可以正確檢定被測(cè)器件或電路。="">
- 輸出 10 A @ 10 V,脈沖寬度為 10 μs
- 脈沖上升時(shí)間 <1.7μs,可輕松檢定>1.7μs,可輕松檢定>
- 高保真脈沖輸出,在任何電流水平下均無(wú)需調(diào)整


將快速脈沖發(fā)生器功能與 SMU 功能集成至一臺(tái)儀器中
2601B-PULSE 在業(yè)界的吉時(shí)利 2601B SMU 儀器所提供的測(cè)量完整性、同步性、速度和準(zhǔn)確性基礎(chǔ)上新增脈沖發(fā)生器功能。
- 通過(guò) 1 MS/s 的數(shù)字化功能,實(shí)現(xiàn)脈沖發(fā)生器 0.05% 的基本測(cè)量精度
- SMU 100 nA 低電流范圍與 100 fA 靈敏度
- 后面板 BNC 連接實(shí)現(xiàn)電纜快速設(shè)置
嵌入式腳本和連接提供的生產(chǎn)吞吐量
測(cè)試腳本處理器 (TSP®) 技術(shù)可在 SMU 儀器內(nèi)嵌入和執(zhí)行完整測(cè)試程序,提供業(yè)界性能。TSP-Link® 技術(shù)支持?jǐn)U展多達(dá) 32 個(gè) TSP 鏈路節(jié)點(diǎn),以創(chuàng)建高速、SMU-Per-Pin 并行測(cè)試(而不使用主機(jī))。
- 消除與 PC 之間耗時(shí)的總線通信
- 高級(jí)數(shù)據(jù)處理和流量控制
- 連接多達(dá) 32 個(gè) TSP 鏈路節(jié)點(diǎn)
- 隨著測(cè)試要求變化輕松重新配置


應(yīng)用

ToF/LIDAR 應(yīng)用的激光二極管 (VCSEL) 生產(chǎn)測(cè)試
2601B-PULSE 是激光二極管垂直腔表面發(fā)射激光器 (VCSEL) LIV 生產(chǎn)測(cè)試的理想解決方案,采用高速高精度 10μs 脈沖發(fā)生器和 SMU,可用于 VCSEL、VCSEL 陣列和激光二極管模塊的電流脈沖源和電壓-電流監(jiān)測(cè)。SMU 提供實(shí)惠的 LIV 儀器,系統(tǒng)同步和吞吐量高。
- 可編程脈沖電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 µs 脈沖寬度
- 電壓和電流測(cè)量分辨率為 100 nV 和 100 fA
- 內(nèi)置 TSP® 處理功能可減少 PC和儀器總線通信
如何使用 2601B-PULSE System SourceMeter SMU 儀器生成 10 μs 脈沖 當(dāng)輸出低至 10 µs 的脈沖時(shí),新型電流脈沖發(fā)生器/SMU 無(wú)需耗時(shí)的手動(dòng)計(jì)時(shí)
故障分析和質(zhì)量保證
半導(dǎo)體公司和半導(dǎo)體研究人員不斷尋找方法,使測(cè)試設(shè)備不會(huì)成為其在半導(dǎo)體領(lǐng)域有所突破的阻礙。半導(dǎo)體故障分析 (FA) 工程師耗時(shí)無(wú)數(shù),試圖了解設(shè)備故障的原因及在將來(lái)如何預(yù)防。
- 通過(guò) SMU 和脈沖測(cè)試簡(jiǎn)化 FA 過(guò)程
- 數(shù)字 I/O 觸發(fā)外部 IR 攝像機(jī)
- 內(nèi)置定時(shí)器功能,分辨率為 1μs,精度為 ±100 ppm。
使用源測(cè)量單元和鎖定熱成像技術(shù)進(jìn)行故障分析的技術(shù)


簡(jiǎn)化的 LED 脈沖式/直流 I/V 檢定
2601B-PULSE 的電流脈沖、直流電壓和電流功能可實(shí)現(xiàn)高速 LED 直流和脈沖 IV 檢定及生產(chǎn)測(cè)試,具有 0.015% 的基本測(cè)量精度。對(duì) microLED、LED 或高亮度 LED (HBLED) 執(zhí)行脈沖測(cè)試可地減少自發(fā)熱,并減少對(duì)測(cè)量精度的負(fù)面影響,此外,無(wú)需擔(dān)心損壞被測(cè)器件。
- 可編程電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 µs 脈沖寬度
- 電壓和電流測(cè)量分辨率為 100 nV 和 100 fA
- 1 M 樣點(diǎn)/秒數(shù)字化器,用于快速采集和測(cè)量數(shù)據(jù)
- 內(nèi)置 TSP 處理功能可減少 PC 儀器總線通信
晶圓半導(dǎo)體測(cè)試
Keithley 2601B-PULSE 和其他系列 2600B System SourceMeter® SMU 儀器將堆架式儀器的可擴(kuò)展性和靈活性與基于主機(jī)系統(tǒng)的集成和高吞吐量相結(jié)合,使用 TSP 和 TSP 鏈路技術(shù)減少制造活動(dòng)和測(cè)試成本。這些儀器通常用于激光二極管、LED、晶體管等晶圓半導(dǎo)體測(cè)試。
- 內(nèi)置 TSP 處理功能可減少 PC 儀器總線通信
- TSP-鏈路多達(dá) 32 臺(tái)儀器可在 500 ns 內(nèi)與其他 Keithley TSP 儀器同步
