一、武漢智能自動化探針臺各種規格可定制核心功能與技術優勢
自動化與高精度定位
晶圓裝卸:支持4-12英寸晶圓,配備1個載片盒(25-26個片槽),可編程雙向加載,實現快速單片晶圓手動上下片,并具備防晶圓交叉保護功能。
XYZ三軸定位:定位精度可達±3微米,結合高精度CCD視覺定位系統,可自動識別并定位晶圓上的晶粒,適應不同尺寸晶圓的測試需求。
多測試能力集成
電學測試:可進行IV(電流-電壓)、CV(電容-電壓)、RF(射頻)等測試,支持多針同步測試(如20針同步探邊器),大幅縮短測試周期。
光學與電性測試:部分設備(如標譜全自動探針臺)可采集光、電數據,對芯片進行光學及電性測試,適用于正、倒裝SMD、COB、CSP、MIP等芯片。
高效與穩定性
測試效率:通過并行測試與自研高效軟件系統,實現高速測試,測試壽命長久,針痕細膩穩定。
機械結構:采用優質鑄件搭配高精密絲桿及導軌,構建堅固耐用的機械結構,確保設備穩定性與使用壽命。
二、武漢智能自動化探針臺各種規格可定制典型應用場景
半導體制造與測試
晶圓級測試:在晶圓制造過程中,對芯片進行電氣性能測試,及時剔除缺陷芯片,避免后續封裝成本浪費。
封裝后測試:在集成電路封裝過程中,檢測芯片性能,確保封裝工藝質量與可靠性。
研發與質量控制
器件性能優化:幫助工程師優化器件性能,篩選良品,提高生產效率。
失效分析:快速定位芯片制造缺陷,如光刻偏移、刻蝕殘留等,為工藝改進提供依據。
新興領域應用
光電元件測試:測試LED、光電探測器、激光器等光電元件的性能,推動光電通信、顯示技術發展。
新材料研發:測量新型材料的電學性能,如電阻、電容、漏電流等,支持超導材料、納米材料、二維材料的研究。
三、發展趨勢
智能化與集成化
AI算法應用:結合機器視覺與AI算法,實現探針與器件的自動對準與接觸力智能優化,提升測試效率與精度。
多功能集成:配備顯微鏡、CCD、熱卡盤等附件,滿足不同領域的科研和工業生產需求。
高精度與多尺度測試
納米級測試:在納米尺度上提供高精度測試數據,支持多尺度研究,推動納米材料與納米器件的發展。
多物理場耦合:集成電學、熱學、光學測試模塊,滿足復雜測試需求,如鐵電材料極化翻轉過程中的光電流監測。
低成本與便攜化
便攜式設計:開發小型化、電池供電的便攜式探針臺,滿足物聯網邊緣設備現場快速測試需求。
定制化解決方案:根據客戶需求提供深度定制,實現一站式解決方案,降低使用成本。