特點(diǎn) | 優(yōu)點(diǎn) |
微型體積設(shè)計(jì) | 能安放在制程工具或緊湊空間內(nèi) |
自我平衡技術(shù) | 無(wú)需調(diào)校也能保持離子平衡 |
電源顯示LED | 顯示電源輸入正常 |
保養(yǎng)簡(jiǎn)單 | 只需定期清掃靜電針尖 |
■ 產(chǎn)品規(guī)格
產(chǎn)品型號(hào) | HZR MINI-A/N |
輸入電壓 | DC12V |
工作電流 | 30 mA (隔離的) |
電離技術(shù) | 脈沖直流電離 |
離子平衡 | MINI-N :< ± 30 V@ (7.6 cm 距離); |
MINI-A :< ± 20 V: | |
@ (15.2 cm 距離,0.02 m /min風(fēng)量) | |
耗散時(shí)間 | MINI-N:< 10 秒 @ (7.6 cm 距離) |
MINI-A:< 8 秒 | |
@ (15.2 cm 距離,0.02 m /min風(fēng)量) | |
輸入氣源 | CDA潔凈空氣, |
風(fēng)量輸出 | MINI-A:0.01-0.03 m /min @ 0.3-2.1 bar 輸入氣壓 |
覆蓋范圍 | MINI-N 15*15cm@7.6cm距離 MINI-A 15*15cm@15cm距離 |
環(huán)境氣流 | 1.0m/s (建議最小) |
臭氧產(chǎn)生 | < 0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平,建議最短使用距離5cm |
符合潔凈度 | ISO 14644-1 Class 5 |
放電針材質(zhì) | 不銹鋼 |
機(jī)殼 | ABS |
操作環(huán)境 | 溫度0-40°C ;30-70% RH (無(wú)冷凝) |
尺寸 | 5.2 x 4.1 x 1.65 cm,上下有 6 mm 邊框 |
MINI-A 有 1 cm 長(zhǎng)的氣管接口 | |
重量 | MINI-N:0.016 kg |
MINI-A:0.019 kg |
■ 測(cè)試方法
測(cè)試偏置電壓和消散時(shí)間兩個(gè)性能參數(shù)。
出廠(chǎng)測(cè)試方法:
1 儀器設(shè)備名稱(chēng):本公司采用ME-288B充電平板測(cè)試儀 (CPM)。
2 測(cè)試儀器需接地良好,所測(cè)離子風(fēng)機(jī)需接地良好。
3 靜電消除器對(duì)準(zhǔn)平板測(cè)試儀中心,按照以下距離測(cè)試:
? MINI-N:76 mm距離
? MINI-A:152 mm距離
現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試方法:
1. 現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試時(shí),儀器的測(cè)試平板需放置在ESD敏感元器件實(shí)際被操作的位置。
2.具體測(cè)試方法,以不同測(cè)試儀器說(shuō)明書(shū)為準(zhǔn)。