型號 | FD27-202500 ☆ | FD27-201200 ☆ | FD35-078400 | FD35-184000 ☆ |
訂貨號 | 1006032 | 1006041 | 1006033 | 1006042 |
基準(zhǔn)距離 | 24.2mm | 24.8mm | 110mm | 35mm |
測量范圍 | ±1.25mm | ±0.6mm | ±4.2mm | ±2mm |
分辨率 | 6nm | 3nm | 100nm | 20nm |
線性精度 | ±0.62μm | ±0.3μm | ±2.1μm | ±1μm |
最小測量厚度 | 83μm | 42μm | 280μm | 133μm |
光斑直徑 | 13μm | 13μm | 20μm | 25μm |
測量角度 | ±20°鏡面 | ±20°鏡面 | ±7°鏡面 | ±18°鏡面 |
外徑尺寸 | 27mm | 27mm | 35mm | 35mm |
采樣頻率 | 2kHz ~ 4kHz | |||
溫度特性 | 0.012% F.S/℃ | |||
接口 | USB/以太網(wǎng) | |||
環(huán)境溫度 | 4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 無凝露 | |||
環(huán)境濕度 | 60±10% RH 無凝露 | |||
防護等級 | IP40 | |||
工作電壓 | 24V DC | |||
重量 | 132g | 132g | 300g | 200g |