氣體質量流量控制器LF-M020
適用范圍:30 l/min ---300 l/min
精度:±1.0%F.S，耐壓:3Mpa,信號：RS485 RS232 MODBUS協議，供電：15-24VDC
用于對中大流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有精度高，數字電路，穩定性好，可靠性高，安裝簡單，操作方便。
產品型號 LF-M020C LF-M021M
滿量程范圍 SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 控制器50:1 流量計100:1
精度 ±1.0%F.S
線性 ±0.5%F.S
重復性 ±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應時間 ≤1S
工作壓差 0.1...0.5Mpa
.大耐壓 3MPa
工作環境溫度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信號 RS232/RS485 MODBUS協議
供電方式 24VDC（250mA）
密封材料 丁晴橡膠 氟橡膠
接頭尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
電器接頭 DB9針
