補償式。
0 SLPM 到 20.0 SLPM。
模擬輸出
同軸流量測量
AWM5000 系列微橋氣體質量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列可測量速度高達 20升/每分(SLPM) 且壓降為 2.25" H2O 的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
堅固、通用的封裝
堅固的塑料封裝被設計為能承受 50 psi 的共模壓力，且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊，而不會影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可提供超可靠的連接，適用于要求嚴苛的應用。
內置信號調節
每個 AWM5000 傳感器都包括可執行放大、線性化、溫度補償和氣體標定功能的電路系統。無論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準氣體（氮氣、二氧化碳、一氧化二氮或氬氣）如何，所有產品都可能達到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動激光可進行所有校準。
注意：產品損傷
AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。
AWM5000 datasheet.pdf
sensing-pressure-force-flow-rg.pdf
