高水質保障:能生產出電阻率高達 18MΩ?cm 以上,總有機碳(TOC)含量低于 5ppb,顆粒計數達到每毫升個位數甚至更低水平的超純水,滿足晶圓清洗對水質的**要求。
自動化程度高:配備**的 PLC 控制系統,可實時監測和控制水質、壓力、流量、溫度等參數,實現自動運行、自動調節、自動保護和故障報警,減少人工操作和維護成本。
穩定可靠運行:采用高品質的膜組件、泵、閥門等關鍵部件,經過嚴格的設計和測試,設備運行穩定可靠,能夠長時間連續供應高質量的超純水,確保晶圓清洗工藝的連續性。
靈活定制化:可根據不同的生產規模、水質要求和工藝需求,進行模塊化設計和定制化配置,方便設備的安裝、調試和擴展。
節能環保:采用節能型泵和優化的工藝流程,降低能耗;同時,EDI 技術的應用減少了酸堿廢水的排放,符合環保要求。