掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等腔體內碳氫化合物的清洗。與外廠商電鏡配套使用。
產品特點
u 遠程離子清洗源
u 一機多用
u 清洗快速高效,低轟擊損傷
技術參數
產品型號 | TEM |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-150W可調 |
遠程等離子源,自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸?180xH100mm |
清洗數量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | 美國THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL) |
氣體控制 | 標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計,測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率2.5 m3/h | |
分子泵 | |
極限真空:LF<8*10-6Pa,CF<8*10-7Pa | |
分子泵抽速85L/s(N2) | |
入口法蘭:DN63 ISO-K(LF)/ CF | |
質量保證 | 二年質保,終身維護 |
電 源 | AC220V、50/60Hz,300W |
產品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包裝尺寸 | L715xW655xH820mm |