紫外臭氧清洗機（UVOZONE CLEANER, UVO）,是一種簡單,經(jīng)濟，快速髙效的材料表面 清洗設備,能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英,硅片,金,鐐,鋁,碑化氤氧化鋁等）表面 上的有機污染物。

    采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選配加熱控溫 功能,以達到清洗效果。

產(chǎn)品特點

UVO基礎型采用可編程數(shù)字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。

自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

數(shù)字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

可隨時手動中斷處理過程。

自動記錄之前清洗參數(shù)設置。

樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。

頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。

上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。

樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。

高強度UV燈源，波長185nm和254nm。

UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。

帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。

可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。

可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。