
型號 | SJ-500 | SV-2100M4 | SV-2100S4 SV-2100H4 SV-2100W4 | SJ-500P | SV-2100M4 |
測量范圍 X軸 | 50mm | 100mm | 50mm | 100mm | |
測量范圍 X軸 | 800 µm 、80 µm 、8 µm | ||||
檢出方式 | 差動電感方式 | ||||
分辨力 | 0.01 µm(800µm范圍) ,0.001 µm(80µm范圍) ,0.0001 µm(8µm范圍) | ||||
觸針形狀 | 60º/2 µm, 0.75mN 90º/5 µm, 4mN | ||||
測量速度 | 0.02 ~ 5mm/s | ||||
驅動速度 | 0 ~ 20mm/s 或手動操作 | 0 ~ 40mm/s或手動操作 | 0 ~ 20mm/s 或手動操作 | 0 ~ 40mm/s 或手動操作 | |
直線度 | 0.2 µ m/50mm*1 | 0.15 µ m/100mm | 0.2 µ m/50mm*1 | 0.15 µ m/100mm | |
分辨力 | 0.05 µm | ||||
移動量 | — | 350mm (H4, W4: 550mm) | — | 350mm | |
驅動速度 | —*2 | 手動操作 | 0 ~ 20mm/s或手動操作 | —*2 | 手動操作 |
分辨力 | ? | 1 µm | ? | ||
適用標準 | JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA | ||||
評價參數 | Pa, Pq, Pz, Pp, Pv, Pt, Psk, Pku, Pc, PSm, PΔq, Pmr, Pmr (c), Pδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rmax, Rz, Pmax, PzJIS Ra, Rq, Rz, Rp, Rv, Rt, Rsk, Rku, Rc, RSm, RΔq, Rmr, Rmr (c), Rδc, Ry, R3z, RPc, Pc, Sm, S, HSC, Rmax, RzJIS, Rppi, RΔa, R λa, R λq, Rlo, Rlr, tp, Htp, Vo Wa, Wq, Wz, Wp, Wv, Wt, Wsk, Wku, Wc, WSm, WΔq, Wmr, Wmr (c), Wδc, Wy, W3z, WPc, Wmax, WΔa, W λa, W λq, Wlo, Wlr R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte | Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PΔq, Pmr (c), Pmr, Pδc, Ppq, Pvq, Pmq, PPc, PzJIS, PPI, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RΔq, Rmr (c), Rmr, Rδc, Rpq, Rvq, Rmq, Rmax, RzJIS, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WΔq, Wmr (c), Wmr, W δc, Wst, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rx, AR, R, Wx, AW, W, Wte, Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, lr, Δa,λa,λq, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, NW, SW, SAW | |||
評價輪廓 | 斷面曲線、粗糙度曲線、波紋度曲線、 DF曲線、粗糙度motif曲線、 波紋度Motif曲線 | 斷面曲線, 粗糙度曲線, 波紋度曲線, 濾波波紋度曲線, 帶狀波動曲線, 滾圓波紋度曲線, 滾圓中心線波紋度曲 線, 包絡殘余線, DIN4776曲線, 粗糙度motif曲線, 波紋 度motif曲線 | |||
分析圖表 | ADC 、BAC、功率譜圖 | ADC, BAC圖, 功率譜圖, 自相關圖, Walsh功率譜圖, Walsh自相關圖, 傾斜分布圖, 局部峰值分布圖, 參數分 布圖 | |||
曲線補償 | 傾斜補償(曲面/任意)、圓補償、橢圓補償、 拋物線補償、雙曲線補償、圓錐補償、觸針圓弧補償 | 傾斜補償 (全部/前半/下半/端點/任意), R平面補償, 橢圓 補償, 拋物線補償, 雙曲線補償, 錐面補償, 多項式補償 | |||
濾波器 | Gaussian, 2CR75, PC75, Robust-Spline | Gaussian, 2CR75, 2CR50, 2CRPC75, 2CRPC50, Robust-Splin, Robust-Gaussian | |||
截止波長 | λs :0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 / 250 µm / 無 λc :0.025 / 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm*3 λf :0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm / 無 | λs:0.0008/0.0025/0.008/0.025/0.08/0.25/0.8 λc:0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25/任意 λf:0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25/任意 | |||
取樣長度 | 0.025 / 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 / 25 / 80 mm*3 | 0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8.0/25.0/80.0 | |||
段數 | 1-20 | ~ 700() | |||
任意長度 | 0.02-50mm (0.01mm單位) | 0.02-100mm (0.01mm單位) | 0.025-50mm (0.001mm單位) | 0.025-100mm (0.001mm單位) | |
顯示語言 | 支持16種語言 日語, 英語, 德語, 法語, 意大利語, 西班牙語, 葡萄牙語, 韓語, 簡體中文, 繁體中文, 捷克語, 波蘭語, 匈牙利語, 土耳其語, 瑞典語, 荷蘭語。 | 支持17種語言 日語, 英語, 德語, 法語, 意大利語, 西班牙語, 葡萄牙語, 韓語, 簡體中文, 繁體中文, 捷克語, 波蘭語, 匈牙利語, 土耳其語, 瑞典語, 荷蘭語, 俄語。 |