1 概述
CYX20系列注油芯體壓力傳感器是一種采用不銹鋼雙波紋膜片隔離的差壓敏感器件，被測差壓通過隔離膜片和充灌的硅油傳遞到硅壓敏元件上，實現了差壓的精確測量。該芯體選用的高穩定、高精度硅壓力芯片，采用應力優化設計的燒結座，通過貼片、金絲鍵合、膜片焊接、高真空注油、壓力循環去應力、高溫老煉、溫度補償等工藝生產。通用型產品的外形、尺寸及密封方式與國際主流同類產品相一致，有很好的互換性，廣泛應用于與316L不銹鋼及丁晴橡膠或氟橡膠相兼容介質的差壓、液位測量。
2 產品特點
- 測量范圍 0kPa～10kPa…3.5MPa
- 恒流/恒壓供電
- 膜片隔離式，適用于多種流體介質
- 全316L不銹鋼材質
- 靜壓 10MPa
- 1.5 倍滿量程過壓
3 主要用途
- 工業過程控制 ● 帶壓容器液位測量 ● 氣體、液體壓力測量
- 差壓檢測 ● 流量儀表 ● 壓力檢測校準儀器
4 技術指標
4.1 電氣性能
- 供電電源：≤3.0mA; DC≤10V DC
- 電氣連接： 0.2mm2四色100mm 硅橡膠軟導線
- 共模電壓輸出：電流型輸入的 50%(典型值) ，電壓型輸入的 40%(典型值)
- 輸入阻抗：2.7kΩ～5kΩ
- 輸出阻抗：3.0kΩ～6kΩ
- 響應時間(10%～90%)：＜1ms
- 絕緣電阻：500MΩ/100V DC
- 允許過壓：1.5 倍滿量程
4.2 結構性能
- 膜片材質：不銹鋼 316L
- 殼體材質：不銹鋼 316L
- 管腳引線：硅橡膠軟導線
- 密封圈：丁晴橡膠、氟橡膠（可選）
- 凈重量：約 38g
4.3 環境條件
- 振動：在 10gRMS，（20～2000）Hz 條件下無變化
- 恒定加速度：100g，11ms
- 介質兼容性：316L和丁晴橡膠（可選氟橡膠）的液體或氣體
4.4 基準條件
- 介質溫度：（25±3）℃
- 環境溫度：（25±3）℃
- 濕度：（50%±10%）RH
- 環境壓力：（86～106）kPa
- 電源：（1.5±0.0015）mA DC
4.5 標準量程靈敏度輸出及可選壓力形式
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力 形式 |
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力形式 |
| 0～10kPa | 35～60 | 45 | D | 0～400kPa | 60～80 | 70 | D | |
| 0～20kPa | 70～110 | 90 | D | 0～600kPa | 90～120 | 100 | D | |
| 0～35kPa | 55～80 | 70 | D | 0～1.0MPa | 80～120 | 100 | D | |
| 0～70kPa | 55～80 | 60 | D | 0～1.6MPa | 125～185 | 150 | D | |
| 0～100kPa | 60～85 | 75 | D | 0～2.0MPa | 50～70 | 60 | D | |
| 0～200kPa | 65～85 | 75 | D | 0～3.5MPa | 100～120 | 110 | D |
4.6 基本參數
| 參 數 | 典型值 | 值 | 單 位 |
| 零位輸出 | ±1 | ±2 | mV |
| 非 線 性 | 0.2 | 0.5 | %FS |
| 遲 滯 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 重 復 性 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 輸入/輸出阻抗 | 2.6 | 5.0 | kΩ |
| 零點溫漂 注1 | ±0.4 | ±1.0 | %FS,@25℃ |
| 靈敏度溫漂 注2 | ±0.4 | ±1.0 | %FS, @25℃ |
| 長期穩定性 | 0.2 | 0.3 | %FS/年 |
| 激勵電流 | 1.5（輸入電壓可10V） | mA | |
| 絕緣電阻 | 500（100VDC） | MΩ | |
| 補償溫度 注3 | 0～50；-10℃～70℃ | ℃ | |
| 工作溫度 | -40～+125 | ℃ | |
| 存儲溫度 | -40～+125 | ℃ | |
| 響應時間 | ≤1 | ms | |
| 外殼和膜片材料 | 316L不銹鋼 |
| |
| O型密封圈 | 氟橡膠、丁腈橡膠、硅橡膠 |
| |
| 測量介質 | 與316L、丁腈橡膠或氟橡膠或硅橡膠兼容的流體 |
| |
| 壽命（25℃） | ＞1×108壓力循環（80%FS） | 次 | |
| 填充介質 | 硅油 |
| |
| 密封圈 | Φ16×1.8mm（丁晴或氟化橡膠注4） |
| |
| 注1、注2：0～10kPa零點溫漂、靈敏度溫漂典型值0.5%FS@25℃，值1.2%FS@25℃。 注2：200kPa及以下量程，補償溫度0～50℃；大于200kPa，補償溫度-10℃～70℃。 注4：氟橡膠密封圈耐溫度范圍是-20℃～200℃，低溫性能較差，當溫度范圍低于-20℃， 請謹慎選用。 | |||
5 選型結構
5.1外形圖
5.2選型指南
*工藝標識：f表示通用工藝，Y表示負壓工藝。
6 原理圖及接線方式
IN+(紅線)-供電正 IN-(黑線)-供電負 S+(黃線)-輸出正 S-(藍線)-輸出負
7 應用提示
- 1、差壓芯體上引出線的一端為高壓端，另一端為低壓端。也可以通過差壓芯體上標識的“H”、“L” 標記來識別高、低壓端。使用過程中，加到高壓端的壓力一般應不小于加到低壓端的壓力。
- 外殼差壓芯體裝配腔進入端應設計錐形角，容易芯體裝配，可防止直角劃傷密封圈。差壓芯體的密封方式推薦選用側壁O型圈的“懸浮式”密封結構，避免前后端面壓緊，以免影響壓力芯體的穩定性。
- 注意保護差壓芯體前后膜片和中部的補償電路板，以免碰傷影響壓力芯體的性能或造成芯體損壞。
- 裝配時注意芯體尺寸與變送器外殼內殼的公差配合，建議腔體按芯體直徑的+0.02～+0.05加工，以達到所要求的氣密性。
- 避免跌落摔碰等，會影響產品穩定性。
- 管腳引線若有變化，以芯體實物攜帶標簽為準。
