電動可變泄漏閥（微小流量調節閥）——用于超高真空度控制
Electric Variable Leakage Valve (Micro-Flow Control Valve)
一、簡介
VLV2023系列可變泄漏閥是上海依陽公司新推出的一系列電控可變泄漏閥，可以連接到任何真空系統中，以建立可調節的泄漏和微小流量進氣，特別適合高真空和超高真空環境下的微流量進氣調節和超高真空度的準確控制。它提供了的控制靈敏度和穩定性，泄漏率低至1×10-10TorrL/s。泄漏率或流量調節由0~10V模擬信號控制，可代替安捷倫公司和VAT公司的手動/自動可變泄漏閥產品。
可變泄漏閥的功能是在超低漏率條件下進行微小流量的精密調節，可通過兩種技術手段實現此功能：一是改變超低漏率閥門的開度大小，以控制流經氣體的流量；二是改變超低漏率閥門的進氣壓力大小，以改變流經氣體的流速。目前國外可變泄漏閥采用的都是調節開度法，而VLV2023系列可變泄漏閥采用的則是調節壓力法。調節開度法屬于一種純機械傳動機構，對可變泄漏閥門的加工制造、材質和磨損性能有著非常苛刻的要求，且運行速度較低和價格昂貴。而調節壓力法則屬于一種微機電機構，無摩擦部件，大幅降低了制造難度和成本。
二、技術指標
（1）最小泄漏率：1×10-10TorrL/s。
（2）泄漏變化率：隨著進口氣體壓力的增加，提供增加的變化率，從而提供成比例的精確控制。
（3）真空范圍：從大氣壓到低于10-11Torr。
（4）溫度范圍：連接處位置高達450℃。
（5）入口氣體壓力：1000psi（7MPa）。
（6）控制信號：0~10DVC。
（7）電源：24DVC。
（8）材質：304不銹鋼。
（9）重量：0.43kg。
三、尺寸和接線
四、典型應用
（1）超高真空度調節用安捷倫和VAT電動可變泄漏閥的國產化替代
（2）采用氦質譜檢漏儀測量MEMS密封件漏率和內部真空度的解決方案
（3）國產ChatGPT文心一言在超高真空度控制裝置研發中的應用探索
（4）皮拉尼計和電離規信號線性化處理技術在超高真空度精密控制中的應用
（5）真空度控制技術關鍵部件的國產化替代現狀
（6）低溫結霜可視化實驗裝置的真空壓力精密控制技改方案
（7）環境可控原子力顯微鏡實現超高真空到常壓的可變壓力控制解決方案
（8）超高真空變溫臺的真空壓力和氣氛精密控制解決方案
