東詩TOS / TOS-20F系列質量流量計
一、產品概述
◆熱式原理，精度更高，響應更快，帶網口
◆管狀分流，不易堵塞◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
TOS-20F高精度質量流量計/流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
二、產品應用
| 半導體行業 | 太陽能 | 大氣監測 | 工業制作 | 石油石化 |
| 煤炭冶金 | 制氣配氣 | 環保 | 玻璃行業/各種儀器分析 | |
三、產品參數
| 產品型號 | TOS-20F |
| 量程范圍 | 2SCCM～30SLM |
| 測控范圍 | 流量計量程比100:1 控制器量程比50:1 |
| 準確度 | ±0.5%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | 流量計：＜0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 數字量 | RS232/485，MODBUS協議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓降：<0.01Mpa |
| 耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB9孔 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
| 溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
四、產品尺寸圖
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