國產高真空機組 VAU-05G
1.技術指標：
| 環境溫度 | 5-32℃ |
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作電壓 | AC220V±10% 50/60Hz |
| 功率 | 1KW |
| 系統整體極限真空度 | 5.0*10-5pa |
| 實驗真空度 | 5.0*10-3pa |
| 外形尺寸 | 600*600*650mm |
2.主要配置：
| 主要配置 | 技術參數 |
| 機械泵 | 抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機功率：400W 極限壓強：6×10-2Pa |
| 分子泵 | 抽氣速率：100L/S 極限壓強：6×10-6Pa 啟動時間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。 |
| 分子泵控制器 | 電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ 輸出功率：≤150W 加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
| 復合真空計 | 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×10>3Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4 控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% |
| 連接管路 | 采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10-9Pa.m3/s |
