納米級分辨率;
適用于柔軟和敏感的物體表面測量(鏡面和光滑表面);
堅固耐用,使用壽命長;
振動分析;
傳感器可進行自動對焦.
對于輪廓測定來說,NLS13自動對焦傳感器是一種非常*的測量解決方案,具有的保真度,可靠的測量結果,適應廣泛的應用,包括柔軟或敏感表面。適用于厚膜測量和混合動力汽車,光學,通信,電子工程,電子行業材料試驗等領域;摩擦學,機械工程(平整度,波紋度,粗糙度)和IC封裝(翹曲,共面,凸塊高度和體積)等。
傳感器 | NLS13納米級位移計 |
量程mm | 1.5 |
分辨率 nm | 10 |
線性度 | ≤ 0.2um |
重復性nm | ≤ 10 |
測量間隙mm | 2.0 |
光源鹵素燈W | 780nm半導體激光二極管 |
光斑直徑µm | 1.9um |
測量垂直度o | 90±25 |
響應Hz | 16~10K |
輸出 | 數據接RS232 |
重量g | 探頭約5000,控制器約4000 |
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