該設備主要用于手機顯示模組及有關產(chǎn)品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下，使用不同的物鏡對產(chǎn)品進行觀察，對需要測量的位置使用帶光柵的高精密移動平臺結(jié)合數(shù)據(jù)處理軟件進行尺寸測量，使用數(shù)字相機進行實時影像處理、觀察以及拍照，實現(xiàn)對產(chǎn)品的尺寸以及外觀檢查。

測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、科研、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領域的檢測。

全套設備由以下幾部分組成：

1、工具金相顯微鏡

2、定制測量軟件

3、630萬像素USB3.0高速相機（3幀），可選12萬（2幀）和2萬像素（12.5幀）

4、外設（計算機）

技術參數(shù)

1、測量顯微鏡；

1）顯微鏡類型：工具金相顯微鏡;

2）放大倍數(shù)：放大50、100、200、500倍；可以選配1000倍

3）光源類型：5W白光LED燈；

4）視場數(shù)：22；

5）照明方式：反射光，科勒照明/透射光普通照明；

6）觀察方法：明場；

7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（干涉片為選配）

8）物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔明場物鏡轉(zhuǎn)盤；

9）物鏡類型：平場復消色差物鏡；

10）載物臺結(jié)構(gòu)：三層機械結(jié)構(gòu)高精度移動載物臺

11）測量行程：X軸300mm，Y軸200mm，Z軸200mm

2、測量軟件

1）實時影像觀察

2）實時圖像抓取

3）二維幾何尺寸測量

4）測量結(jié)果報表輸出

5）多分辨率切換

3、高精度載物臺

1）XY行程300X200mm，臺面450*350mm

2）平臺光柵顯示精度值0.5um，可以選配0.1um

3）傳動方式：手動

4、Z軸測量準確度

1）Z軸光柵顯示精度值0.5um（可以選配0.1um），測量精度在3-5um

2）傳動方式：手動