SINTAIKE半自動(dòng)LED UV照射機(jī)STK-1150概要: |
STK-1150半自動(dòng)LED UV照射機(jī)專門用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序,采用手動(dòng)上下料方式,配備觸摸顯示屏,操作方便快捷。機(jī)臺(tái)的LED UV工作模組可發(fā)出波長為365 nm的紫外光對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行照射解膠。UV照射能量出廠設(shè)置為500mW/cm2。 同時(shí)設(shè)備配置有UV安全保護(hù)裝置。
SINTAIKE半自動(dòng)LED UV照射機(jī)STK-1150性能: |
晶圓良率 | ≥99.9% |
更換產(chǎn)品時(shí)間 | ≤ 5分鐘 |
SINTAIKE半自動(dòng)LED UV照射機(jī)STK-1150規(guī)格參數(shù): |
物料規(guī)格 | 可支持6”~12” Frame |
UV單元 | 1套 LED UV 模組 |
UV波長 | 365 nm |
UV 照射能量 | 50~500 mW/ cm2,照射能量實(shí)時(shí)監(jiān)測,能量可程序調(diào)節(jié) |
UV 照射均勻性 | <=±10 % |
UV 照射時(shí)間 | 0~999sec,程序可設(shè)定 |
掃描速度 | 0~100 mm /s, 程序可設(shè)定 |
燈箱溫度 | 實(shí)時(shí)監(jiān)控?zé)纛^和燈箱溫度 |
UV 燈類型 | LED型冷光源,能量強(qiáng),壽命長,能耗低,發(fā)熱量小 |
控制單元 | PLC和觸摸屏 |
上料/下料 | 手動(dòng) |
電源 | 單相 220V, 6A |
氣體 | 氮?dú)饪蛇x配 |
設(shè)備外殼 | 白色噴涂外殼 |
設(shè)備尺寸 | 870mm(寬) x 1080mm(深) x 1170mm(高) |
設(shè)備凈重 | 約100kg |