工業超純水設備系統采用多介質過濾器、活性炭過濾器作及保安過濾器作為前級處理，有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，使經過離子交換處理后的水質符合工業生產要求。在經過后端進行精處理系統（混床系統），使其產水水質滿足生產用水的要求。
設備原理
離子交換是一種特殊的固體吸附過程，它是由離子交換劑的電解質溶液中進行的。一般的離子交換劑是一種不溶于水的固體顆粒狀物質，即離子交換樹脂。它能夠從電解質溶液中吸取某種陽離子或者陰離子，而把自身所含的另外一種帶相同電荷符號的離子等量地換出來，并釋放到溶液中去，這就是所謂的離子交換。按照所交換離子的種類，離子交換劑可分為陽離子交換劑和陰離子交換劑兩大類。
離子交換的基本工作原理是：
a、首先電解質離子(鈣、鎂、鐵、鈉等離子)穿過液膜進入樹脂表面;
b、離子進入樹脂內部;
c、離子交換;
d、H離子或OH根離子向樹脂外部擴散;
e、H離子或OH根離子進入水中形成H2O。雙床又稱復床，復床是用陽、陰兩種不同的離子交換的交換器的串聯方式，如強酸性陽離子交換樹脂和強堿性陰離子交換樹脂串聯的方式。這種陽床和陰床串聯組成的設備稱為復床，水先經過陽床除去帶正電的離子(如Ca2+、Mg2+、K+、Na+)，并且置換出H+離子到水中;然后除去水中的陰性離子(如SO2-4、Cl-、HCO- 3)，并且置換出OH-離子到水中。同時，H+離子和OH-離子結合形成水H2O，從而達到去離子的作用。
混床工作原理：
在同一個交換器中，將陰、陽離子交換樹脂按照一定的體積比例進行填裝，在均勻混合狀態下，進行陰、陽離子交換，從而除去水中的鹽分，稱為混合床除鹽處理。混合床的陰、陽離子交換樹脂在交換過程中，由于是處于均勻混合狀態，交錯排列，互相接觸，可以看作是由許許多多的陰、陽離子交換樹脂而組成的多級式復床，可相當于1000～2000級。因為是均勻混合，所以，陰、陽離子的交換反應幾乎是同時進行的，所產生的H+和OH-隨即合成H2O，交換反應進行得很，出水水質高。
系統結構流程
前處理設備(多介質過濾器、 活性炭過濾器)+ 離子交換設備=純水
應用
純水、超純水設備常用于電子、半導體、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路 、精密機械 行業超純水，食品、飲料、飲用水的制備，精細化工、精尖學科用水，其他行業所需的高純水制備，制藥工業工藝用水，海水、苦咸水的淡化，制藥行業用水大輸液、針劑、片劑、生化制品、設備清洗等，海水、苦咸水淡化，汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細化學品等用超純水。
