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規格
測量參數：R（直流電阻），I（直流電流），ps（表面電阻率），pv（體電阻率）
數學功能：偏差和百分偏差
顯示數字：3，4或5位（可選擇）
測試電壓：0.1 ～ 1000Vdc
0.1 ～ 200Vdc時，以0.1V步進
0.1 ～ 1000Vdc時，以1V步進
電壓精度：≤200V時為0.16％+100mV
＞200V時為0.16％+500mV
電流：≤100V時為10mA；≤250V時為5mA
≤500V時為2mA；≤1000V時為1mA
電流相容性調定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
輸出電阻：1KΩ±10％
輸入電阻：1KΩ±10％
測試電纜長度：2 m　（值）
測量范圍和精度：
直流電流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％
直流電阻：1×103 ～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％
測量時間：短：10ms；中：30ms；長：390ms
修正功能：
開路誤差為0：消除由測試夾具中雜散寄生電阻引起的測量誤差
測試序列程序：控制一系列電阻測量。充電時間、測量間隔時間和測量次數可以編程。
比較功能：對測量參數設立高符合低界