Nexview非接觸式zygo輪廓儀可以用來測量所有表面,一一超光滑到非常粗糙的表面
Nexview都可以以30非接觸的方式,以亞納米的精度,以不同的視場范圍檢測樣品表面的平面度 Flatness),粗度( (roughness.合階高度( step height),膜層厚度(fims)坡度{ slope)等等參數,也可以對樣品表面的微觀結構,缺陷等等作詳細的局部區域分析segment).測試的縱向范圍從immー直到20n適用于所有的樣品,從超光滑到粗糙,包括在結構上的斜坡,臺階及膜層,都可以
使用 netview以非接觸的方式測量,可以按全新的S025178標準,以3D形式,計算粗楹度結果
使用全新一代軟件.清晰詳盡的輸出窗口,更合理的布局.簡單易懂的軟件界面在硬件和軟件上都整合了在震動環境下測量的抗振功能擁有強大的后期數據圖像分析功能,可以作圖像
局部統計分析,可以使用 Zygo Visionpro工
具作智能化圖像分析