技術參數：

最小可檢漏率（負壓模式）  5×10-13Pa?m3/s

最小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強  粗檢 1500Pa

            中檢 200Pa

            精檢 40Pa

響應時間                ＜1s

啟動時間                ≤3min

前級油泵抽速              0.5L/s  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                   73Kg

氦質譜檢測儀的功能描述：

1.支持正壓檢漏，負壓檢漏；

2.自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果；

3.優化設計的質譜系統和智能算法確保在所有量程快速響應；

4.高可靠性的真空系統和質譜系統確保快速清氦；

5.支持氮氣破空，不受環境氦氣干擾，快速降低本底；

6.機器的性能支持7*24小時長時間在線測試；

7.機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試；

8.配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷；

9.雙銥絲離子源，有效的系統設計，防大氣沖擊；

10.支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外氦系惰性氣體，不腐蝕設備，常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏氣量大小。

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。