沈陽科晶 GSL-1100X-SPC-16型 單靶等離子濺射儀
儀器概述：
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達50mm，鍍膜厚度可達300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。
主要技術特點：
1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。
2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得良好的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。
主要技術參數：
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | ||
技術參數 | 1、電源：220V 2、總功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：?160mm×120mm 4、樣品臺：?50mm，且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜 5、均勻鍍膜：?45mm | ||
產品規格 | 1、尺寸：400mm×300mm×400mm 2、重量：30kg | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 進氣針閥 | 1個 | |
3 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
