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  • FRT MicroProf MHU晶圓量測系統

FRT MicroProf MHU晶圓量測系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時間2023-07-17
  • 廠商性質其他
  • 所在地區成都市
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  • 產品數量148
  • 人氣值621
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產品簡介MicroProfMHU系列是帶有材料處理單元的晶圓量測系統,是專門為半導體、MEMS、藍寶石和LED行業設計的
FRT MicroProf MHU晶圓量測系統 產品詳情


產品簡介

MicroProf MHU系列是帶有材料處理單元的晶圓量測系統,是專門為半導體、MEMS、藍寶石和LED行業設計的。典型的應用是測量裸晶圓和涂覆晶圓,或處于不同光刻工藝步驟的結構晶圓。由于具備了帶有兩個真空吸附前端的的機械臂該工具的吞吐量非常高,可達220片/小時。MicroProf MHU系列能夠處理2到12英寸的晶圓。雙側樣品測量選件允許同時測量晶圓頂部和底部表面,測定樣品厚度,總厚度變化(TTV)和各種表面參數,如粗糙度,波浪度和兩側的平面度。通過對全局和局部晶圓參數的分析,可以實現完整的晶圓形貌測量。提供晶圓分選功能,可根據客戶要求進行調整。MicroProf MHU的另一個測量領域是薄膜層厚layer堆疊,臺階高度,凸起,通道(tsv),溝槽等測量。兼容的設計幾乎無需維護的硬件組件、高吞吐量,使MicroProf MHU成為生產中的解決方案。


產品特性

高吞吐量,可達220/小時

準確度和重現性

快速點測量、剖面測量、三維測量

精確到(亞)納米分辨率

契合生產流程的系統集成

可以根據需求輕松自定義創建測試流程

符合DIN/ISO和SEMI標準

光學、非接觸、非破壞性

耐用,維修少,維護少


產品應用

晶圓形貌測量:

晶圓厚度、TTV、彎曲、粗糙度、應力平整度

凸起、通道、溝槽、幾何形狀、滾落量

薄膜厚度


規格參數

XY軸掃描行程

440 mm x 305 mm

XY軸編碼器分辨率

50 nm

XY軸掃描速度

300 mm/s

Z軸行程

50 mm (100 mm 可選)

載重能力

5kg



關鍵詞:標準
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