TM3030日立臺式掃描電鏡標配的4分割背散射探測器,可采集來自四個不同方向的圖像信息,可以有四種成像模式。標配大樣品艙，可容納樣品直徑70mm,厚度50mm。
日立高新在2005年4月推出了代臺式顯微鏡，迄今為止，TM1000、TM3000、TM3030、 TM3030Plus一起出廠臺數已經有2900臺。
TM3030日立臺式掃描電鏡的低真空顯微鏡功能使得樣品不需任何處理即可快速進行觀察。緊湊型設計意味著TM3030可以在辦公室和其他地方方便地安裝和操作。通過優化電子光學系統，TM3030還提供了“5kV mode”，使得樣品表面結構得到觀察，并且觀察不需要在高加速電壓下進行。
項目 | TM3030 | TM3030Plus |
觀察條件 | 5KV：3級 | |
(Low Mag. /Mid. Mag. /High Mag.) | ||
15KV | ||
15KV(Higher current) | ||
放大倍數 | 15X to 60,000X（數碼連續放大：x2，x4） | |
探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器，二次電子探測器 |
信號 | BSE | BSE |
SE | ||
合成（BSE+SE） | ||
觀察模式（真空度） | 標準模式（3-5Pa） | 導體（3-5Pa）（BSE only） |
消除核電模式（50Pa） | 標準模式（30Pa） | |
消除核電模式（50Pa） | ||
樣品尺寸 | 70mm（徑）X 50（高） | |
PC（OS） | Windows 7（32/64 bit） | Windows 7（64 bit） |
重量（主機） | 63kg（手動臺） | 65kg（手動臺） |
66kg（馬達臺） | 68kg（馬達臺） | |
自選附件 | EDX（Quantax70，SwiftED3000,3D View software）冷臺，傾斜&旋轉臺 | |
