Union光學THS-10非接觸式厚度臺階測量裝置
THS-10是一種非接觸式厚度臺階測量儀，采用光學焦點檢測方法，將使用目標標記方法的精密聚焦單元與上下顯微鏡光學系統相結合。可以在檢查物體的正確位置和形狀的同時測量厚度和 25 mm 的臺階。
Union光學THS-10非接觸式厚度臺階測量裝置
Union光學THS-10非接觸式厚度臺階測量裝置
THS-10非接觸式厚度臺階測量裝置
使用目標標記投影方法的顯微鏡可以從上方和下方無接觸地夾在中間，從而可以輕松進行高精度測量。
THS-10是一種非接觸式厚度臺階測量儀，采用光學焦點檢測方法，將使用目標標記方法的精密聚焦單元與上下顯微鏡光學系統相結合。可以在檢查物體的正確位置和形狀的同時測量厚度和 25 mm 的臺階。由于是光學式，操作簡單，任何人只需將目標標記上下的垂直線對齊，即可輕松進行高精度測量。
鏡子/ | 垂直可動范圍 | 粗140mm，細10mm或25mm |
可觀察的高度 | 150mm | |
落射照明 | 目標標記（從 2 種類型中選擇）內置照明、無級音量調光、 | |
Z軸測量范圍 | 10mm 或 25mm（取決于 Z 軸刻度選擇） | |
Z軸測量精度 | 范圍 ≤ 1 μm（0 至 10 mm 規格），范圍 ≤ 2 μm（0 至 25 mm 規格） | |
桶 | 直立三目 | 20°俯仰角，正像，護眼調節范圍54-75mm，帶C接口 |
物鏡 | PL/PLLWD/ | 無限遠校正物鏡 (∞) 3, 5, 10, 20, 40, 50, 100x |
目鏡 | NWF10X | 10 倍放大倍率，16 個視野，包括偏心實線十字線 |
階段 | 移動量（XY） | 50×50、100×50、100×100（毫米） |
測量精度 | 兩者 XY：(4+0.02L) μm L：測量長度（mm） | |
選項 | 防震臺、照相機、顯示器、運算器、測量軟件、 | |
