Cube™ CDGsci
INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的（≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50
ppm FS 再現(xiàn)性) 和的真空計(jì) (< 5 ppm FS/°C 溫度穩(wěn)定性; < 70 ppm FS/長(zhǎng)期穩(wěn)定性). Cube
是設(shè)計(jì)作為純參考設(shè)備用于標(biāo)準(zhǔn)化真空測(cè)量系統(tǒng), 它是真空科研應(yīng)用的選擇. 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是
Cube出色性能的核心. Cube 通過(guò)無(wú)線或有線以太網(wǎng)接口連接的 20 比特模擬輸出和 RS232-C, TCP / IP 和 HTML
數(shù)字輸出的方式為現(xiàn)代通訊和用戶靈活性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).
每臺(tái)設(shè)備都有由主要產(chǎn)品研究員簽字的質(zhì)保書。存放在一個(gè)可重復(fù)使用的有堅(jiān)硬外殼的手提箱交付使用或運(yùn)到校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室以強(qiáng)調(diào)其專業(yè)性。
益處
- 可靠的高精確壓強(qiáng)測(cè)量 –陶瓷技術(shù)
- 完整的穩(wěn)定輸出 –由 PTB 驗(yàn)證
- 靈活的通訊 –各種現(xiàn)代化的接口
- 所有功能集成化– 無(wú)需控制器
- 直接裝入真空室 –化的重心
- 運(yùn)輸無(wú)需隔離閥
典型應(yīng)用
- 傳遞標(biāo)準(zhǔn)
- 主要校準(zhǔn)儀
- 研究
- 內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)
零件號(hào)
規(guī)格
| 類型 | 1000 Torr | 100 ... 1 Torr | 100mTorr | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.025 | 0.025 | 0.05 |
| 溫度效應(yīng) | ||||
| 零點(diǎn) | percent FS/°C | 0.0005 | 0.0005 | 0.005 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.001 | 0.001 | 0.01 |
| 壓力， | bar (absolute) | 3 | 2.5 | 1.5 |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 溫度 | ||||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 貯存 | °C | –10 … +50 | –10 … +50 | –10 … +50 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加熱時(shí) | W | ≤15 | ≤15 | ≤12 |
| 運(yùn)行溫度 | W | ≤10 | ≤10 | ≤8 |
| 輸出信號(hào)（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應(yīng)時(shí)間 (2) | ms | 100 | 100 | 100 |
| 保護(hù)等級(jí) | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認(rèn)證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | |
| 設(shè)定點(diǎn) | ||||
| 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點(diǎn) | V (dc)A (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 |
| 診斷端口 | ||||
| 協(xié)議 | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | |
| 讀數(shù) | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | |
| 內(nèi)部容積 | ||||
| 內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | ||||
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 8 VCR® | g | 1670 | 1670 | 1670 |
(1) 在25℃操作溫度下的非線性、滯后和可重復(fù)性在操作2小時(shí)后不丑溫度影響。
(2) 提高 10 … 90% FS
。(3) 僅針對(duì)壓力控制類型
。(4) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵
