三維輪廓儀-接觸式
儀器簡介：
接觸式三維輪廓儀、臺階儀（3D surface profilometer）
該系統利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術，并與壓電陶瓷（PZT）掃描結合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現局部三維形貌像。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學拋光平臺，有效解決了以往樣品臺掃面，由于絲杠公差引起的測試結果有亞微米量級的誤差。
三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。
主要特點：
1、常規的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的結合
2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到化的小區域三維測圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
4、在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
5、針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態范圍（至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （最小０.１nm ）
6、軟件設置恒定微力接觸
7、簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面
產地：美國AEP公司
