基本技術參數:

基座尺寸 (W x H): 750 x600mm或 1000 x450mm

基座材料: 花崗巖

重量

　主機:140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4)

140kg (S8),150kg(H8),220kg(W8)

　控制器:14kg

　遙控箱:0.9kg

電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 400W (主機)

輪廓測量技術參數:

X 軸

　測量范圍:100mm或 200mm

　分辨率: 0.05μm

　檢測方法: 反射型線性編碼器

　驅動速度:80mm/s、外加手動

　測量速度: 0.02 -5mm/s

　移動方向: 向前／向后

　直線度: 0.8μm /100mm, 2μm /200mm

* 以X 軸為水平方向上

　直線位移: ±(1+0.01L)μm (SV-C3100S4, H4, W4)

　精度 (20° C時) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4100S4, H4, W4)

±(1+0.02L)μm (SV-C3100S8, H8, W8)

±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8, H8, W8)

* L 為驅動長度(mm)

　傾角范圍: ±45°

Z2 軸 (立柱)

　垂直移動:300mm或 500mm

　分辨率: 1μm

　檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器

　驅動速度: 0 -20mm/s、外加手動

Z1 軸 (檢測器)

　測量范圍: ±25mm

分辨率: 0.2μm (SV-C3100),

　 0.05μm (SV-C4100)

　檢測方法: 線性編碼器 (SV-C3100),

　 激光全息測微計 (SV-C4100)

　直線位移: ±(2+I4HI/100)μm (SV-C3100)

精度 (20° C時) ±(0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100)

*H: 基于水平位置的測量高度(mm)

　測針上／下運作: 弧形移動

　測針方向: 向上／向下

　測力: 30mN

　跟蹤角度: 向上: 77° , 向下: 87°

(使用配置的標準測頭，依表面粗

糙度而定)

測針針尖 ***半徑: 25μm、硬質合金***

表面粗糙度測量的技術參數：

X1 軸

　測量范圍:100mm或 200mm

　分辨率: 0.05μm

　檢測方法: 線性編碼器

　驅動速度:80mm/s

　移動方向: 向后

　直線度: (0.05+1.5L/1000)μm (S4, H4, W4 型)

0.5μm/200mm(S8, H8, W8 型)

Z2 軸 (立柱)

　垂直移動:300mm或 500mm

　分辨率: 1μm

　檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器

　驅動速度: 0 -20mm/s、外加手動

檢測器

　范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,

8μm / 0.0001μm

(2400μm 使用測頭選件)

　檢測方法: 無軌／有軌測量

　測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)

　測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR

(60o / 2μmR: 低測力型)

　導頭曲率半徑:40mm

　檢測方法: 差動電感式

使用旋轉工作臺 使用Y 軸工作臺 q1

使用旋轉工作臺 q2

自動測量

? 在與CNC 機型配套使用的眾多外設選件

的支持下，可實現自動測量。

SV-C3100S4

帶PC 和數據分析軟件的SV-C3100S4

表面粗糙度測量

? 直線度: ±(0.05+0.001L)μm*

專用于需要精度測量的工件。

*S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅動長度 (mm)

? 符合JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等表面

粗糙度的標準。

? 標準配置：精度測頭 (0.75mN / 4mN 測力) ，

分辨率至0.0001μm。

輪廓驅動測量

? X 軸精度: ±(0.8+0.01L)μm*

Z1 軸精度: ±(0.8+I0.5HI/25)μm*

專用于需要精度測量的工件。

* SV-C4100S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅動長度, H 為測量高度 (mm)

? SV-C4100 系列的輪廓驅動器配備了激光全

息測微計測頭，Z1 軸寬／窄范圍均能達

*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改