螺桿干式真空泵是通過泵腔內一對作等速反向旋轉螺桿的嚙合作用，完成從吸入氣體、壓縮氣體到排出氣體而形成高真空過程。即兩個旋向相反的非接觸螺桿型轉子在泵腔內做等速反向旋轉。當螺桿旋轉時，在螺桿真空泵的進口處吸入一定體積量的氣體，氣體被壓縮并輸送到真空泵的排出口處被排出。由于泵的二個螺桿之間以及螺桿與泵腔之間均無接觸，泵腔內不需要潤滑油。用于潤滑齒輪和軸封的潤滑油通過軸封與泵腔密封。泵的冷卻可以通過循環冷卻水直接冷卻或者通過帶有風扇及散熱器的冷卻裝置進行冷卻。
螺桿轉子采用多段變螺距結構設計，極限真空可達1Pa以下，可以滿足從大氣到高真空的各類真空處理
- 1.螺桿轉子采用高強度球墨鑄鐵一體鑄造并采用進口五軸聯動設備加工，具有很高的機械精度和穩定的機械性能。
- 2.抽氣腔采用無油結構設計并設置了氣鎮裝置，可以抽除一般性氣體、可凝性氣體、腐蝕性氣體和含有粉塵的氣體。
- 3.采用波紋管機械密封與進口PTFE唇封及低壓氮氣密封組合密封，可提高真空泵的密封性能，延長真空泵的使用壽命。
- 4.優化了內部結構設計和排氣道布局，可以進一步減少排氣阻力，提高真空泵對可凝性物質的處理能力。
- 5.整體水冷結構布局，降低泵的整體溫升，提高真空泵長期可靠運行能力，滿足各種工況條件使用。
- 6.過流部件進行表面防腐處理，采用多種不同的耐腐涂層處理，適應各類特殊工藝流程。
- 7.與其它機械真空泵比較，可以達到30%~35%以上的節能效果。并且可以和羅茨真空泵組合使用，節能效果更加明顯。
- （1）工業爐/熱處理（表面硬化，淬火，燒結，滲碳，熔煉等）
- （2）化工、制藥
- （3）鍍膜
- （4）冶金
- （5）檢漏
- （6）包裝印刷。
- （7）干燥工藝
- （8）尾氣回收
- （9）鋰電池
- （10）太陽能
- （11）電力行業
- （12）微電子行業
- （13）風動試驗
等螺距螺桿真空泵規格參數
注意 ：
表中提供的螺桿干式真空泵的冷卻水量是使用20℃常溫水的量。當螺桿干式真空泵使用后置冷卻裝置時冷卻水量會有所增加，進出水溫度差一般控制在7℃以下為宜。
