針對高溫微納米壓痕測試技術研究現狀和存在問題，因賽圖利用自主開發的集閉環控制、溫度檢測控制、精密驅動以及大行程壓痕驅動等技術于一體的商業化高溫微納米壓痕測試儀器，如圖1所示，高溫微納米壓痕測試曲線如圖2所示。

圖1 ：高溫微納米壓痕測試儀                                        圖2：高溫微納米壓痕測試曲線

測試數據：

圖1（a）是利用高溫微納米壓痕測試儀對熔融石英開展了壓痕響應的測試研究，結果發現：隨著溫度的升高，熔融石英的硬度逐漸降低，而彈性模量呈現上升趨勢。
       圖1（b）利用高溫微納米壓痕測試儀對GH1131合金開展了壓痕響應的測試研究，結果發現：GH1131 高溫合金的硬度和模量均有所降低。
 

特點：
   采用壓電致動器的載荷裝置保證測量的精確度
   壓電致動器作為壓痕測試的精密驅動加載，可大行程壓痕驅動
   壓痕測試模塊具有良好的重復性和測試精度
   載荷加載范圍可實現1N ～ 200N載荷的加載
   溫度加載范圍可實現0℃ ～ 1200℃的變溫加載
   溫度控制精度可達到±1℃
   使用高溫爐給壓頭和試件同時加熱，保證二者溫度盡可能一致，減小溫度漂移對位移測量的影響
   配備控制主機，專用檢測控制系統與配套分析處理軟件
   軟件包括測試過程中實時測量載荷和位移值、生成載荷位移曲線等
   可測量壓入載荷-壓入深度曲線、殘余壓深、壓深、材料硬度、彈性模量、斷裂韌性、接觸剛度等基本參量
   可選高溫加熱腔

技術指標：

   力載荷量程：10N、44N、200N（系列）
   力分辨率：1mN（常溫）、4mN（高溫）；9mN（常溫）、20mN（高溫）；50mN（常溫）、200mN（高溫）（系列）
   位移量程：200μm、500μm（系列）
   位移分辨率：0.03μm（常溫）、0.08μm（高溫）；0.09μm（常溫）、0.25μm（高溫）（系列）
   高溫溫控范圍：300℃ ～ 1200℃
   壓痕深度：≥ 30μm
   有效使用面積：直徑為35mm的圓面積
   位移測量：電容位移傳感器
   加載模式：壓電力加載
   樣品尺寸：毫米級