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  • 大面積多晶光學金剛石窗口解決方案

大面積多晶光學金剛石窗口解決方案

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  • 型號
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  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區上海市
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  • 產品數量99
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我公司提供大面積多晶光學級金剛石窗口(100-150mm)解決方案:步:生長1.襯底準備,包括:選材、襯底表面處理、晶種及相關工藝2.生長控制:采用CVD設備,將準備好的襯底放入樣品臺,在適當的工藝條件下生長(控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長時間)
大面積多晶光學金剛石窗口解決方案 產品詳情

我公司提供大面積多晶光學級金剛石窗口(100-150mm)解決方案:

 

步:生長

1. 襯底準備,包括:選材、襯底表面處理、晶種及相關工藝

2. 生長控制:采用CVD設備,將準備好的襯底放入樣品臺,在適當的工藝條件下生長(控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長時間)。

3. 生長完成:在獲得設定的厚度后停止生長

可獲得光學級(透過率>68%@10.6μm)、大面積(直徑100-150mm)、厚片(1.2-2mm)

 

第二步:拋光

采用專門的 拋光設備+特制 拋光液進行研磨、磨平、拋光。

可獲得:1) 單晶表面粗糙度1nm,平整度0.2波長;2)多晶窗口表面粗糙度20-50nm,平整度0.2波長。

 

第三步:切割

采用專用激光切割機,可獲得長方形、三角形、圓片等規則高精度形狀光學元件。

 

第四步:鍍膜

采用多種物理氣相沉積手段,可以實現高品質增透膜。

可獲得:1)透過率>90% (1064nm);2)透過率>96%(10.6μm)

 

歡迎感興趣 客戶單位或個人聯系我們!

關鍵詞:切割機
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