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固態(tài)微波遠程等離子體源

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時間2022-04-29
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)成都市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量51
  • 人氣值398
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自成立以來,沃特塞恩持續(xù)開發(fā)了覆蓋ISM頻段的全系列固態(tài)功率源產(chǎn)品,以不斷迭代升級的高性能產(chǎn)品工業(yè)領域固態(tài)功率源產(chǎn)品市場的空白。在持續(xù)深耕ISM領域應用的過程中,沃特塞恩聯(lián)合公司旗下?lián)碛胸S富等離子體技術開發(fā)經(jīng)驗的紐曼和瑞微波技術有限公司,開發(fā)了基于固態(tài)微波源的微波等離子體化學氣象沉積(MPCVD)裝備、遠程等離子設備(RPS),賦能高品質碳材料制備產(chǎn)業(yè),半導體材料刻蝕和清洗等產(chǎn)業(yè)并實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。目前沃特塞恩產(chǎn)品已實現(xiàn)多產(chǎn)業(yè)應用布局,涉足應用包括材料制備,等離子體光源,半導體干法刻蝕、去膠設備,半導體清洗、工業(yè)微波化工、冶煉、加熱、干燥,射頻解凍,腫瘤微波消融、熱療和理療、等離子體美容等醫(yī)療設備、以及科研和醫(yī)療粒子加速器、ECR離子源等應用。沃特塞恩團隊始終堅持以科技創(chuàng)新為主的發(fā)展方向,不斷加強產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新、夯實生產(chǎn)管理能力、嚴格把控產(chǎn)品質量,立志做的產(chǎn)品,創(chuàng)的品牌,成為值得客戶托付信賴的合作伙伴!
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固態(tài)微波遠程等離子體源
固態(tài)微波遠程等離子體源 產(chǎn)品詳情
技術規(guī)格

項目

特征

頻率

2450MHz

微波功率

額定1.5kW,3kW

功率穩(wěn)定度

≤1%

適用氣體

O2,N2, H2, Ar, He, CF4, SF6, CI2

運行氣壓范圍

0.06-20 Torr

氣體流量范圍

0.1-10 slm

等離子發(fā)生腔材質

石英、陶瓷、藍寶石可選

電源輸入

單相交流 110-264V/50-60Hz

冷卻方式

循環(huán)水冷, 8L/MIN, 5-25℃, 1/4"快速接口(固態(tài)微波源部分)
循環(huán)水冷, 3L/MIN,5-25℃

控制接口

DB9F / RJ45

等離子輸出端口

ISO-K 63

外形尺寸

350*250*140mm (等離子體放電腔部分)
450*308*318mm (固態(tài)微波源部分)

整體重量

50KG


應用范圍

前道及后道半導體生產(chǎn)工序中的去膠

前道及后道半導體生產(chǎn)工序中的刻蝕

柔性PCB卷對卷工藝制作中聚酰亞胺薄膜的刻蝕

材料表面處理



外形尺寸

等離子體放電腔

圖片1

固態(tài)微波源

圖片2


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